[发明专利]真空度在线检测及其补偿系统

权利要求书

1.真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：包括真空度检测系统以及真空度补偿装置，所述真空度检测系统包括数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞、历史数据曲线生成模拟器、历史数据曲线分析处理器；

所述数据采集终端连接至少一个真空度在线检测模块，所述真空度在线检测模块连接真空在线检测密封塞；其中，所述真空在线检测密封塞安装在真空设备上用于获取真空设备内的真空数据；所述真空度在线检测模块用于对真空在线检测密封塞获取的真空数据进行处理得到真空设备真空层的真空度；所述数据采集终端用于获取至少一个真空度在线检测模块送来的真空度数据，并将数据发送给历史数据曲线生成模拟器生成模拟数据曲线并实时更新，历史数据曲线分析处理器分析历史数据曲线并根据曲线走势进行报警提示和/或输出控制真空设备关闭信号；

所述真空度补偿装置包括安装在真空在线检测密封塞或真空设备上的真空度补偿腔，所述真空度补偿腔与真空在线检测密封塞和真空设备之间设置有单向阀，真空度补偿腔内安装活塞，所述活塞连接有活塞推杆，所述活塞推杆由电机提供动力，所述电机与历史数据曲线分析处理器连接;

所述真空在线检测的密封塞包括陶瓷基体，所述陶瓷基体下方连接热电偶规管以及用于检测真空装置内的温度的温度传感器，所述热电偶规管与内嵌于所述陶瓷基体内的第一导线连接，所述第一导线两端伸出于所述陶瓷基体上下两端；所述第一导线连接所述真空度在线检测模块，所述温度传感器与内嵌于所述陶瓷基体内的第二导线连接；所述第二导线连接所述真空度在线检测模块；

所述陶瓷基体为圆柱状，其外侧表面设有密封槽，所述密封槽内安装密封胶圈，所述密封胶圈是中空胶圈，其中空夹层内放置的是固态或液态挥发性有机物；

所述挥发性有机物是干冰、樟脑丸中的一种或两种的结合；或液态芳香烃中的一种。

2.根据权利要求1所述的真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：所述真空设备设置有用于真空度补充的补偿孔，所述真空度补偿装置的真空度补偿腔安装在该补偿孔上，所述真空度补偿装置的单向阀安装在补偿孔内。

3.根据权利要求2所述的真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：所述真空设备根据其真空腔体积的大小分段设置有多个补偿孔，每一个补偿孔均安装真空度补偿装置。

4.根据权利要求1所述的真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：所述陶瓷基体设置有贯穿其上下两端的通孔，所述真空度补偿装置的真空度补偿腔与通孔对接安装，所述真空度补偿装置的单向阀安装在通孔内。

5.根据权利要求1所述的真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：所述真空度在线检测模块包括微控制器，所述微控制器连接有通讯电路和电源电路；所述真空在线检测密封塞通过定流电路与所述微控制器连接；所述真空在线检测密封塞依次通过电流采样电路、第一A/D转换电路与所述微控制器连接；所述真空在线检测密封塞还依次通过差分放大电路、第二A/D转换电路与微控制器连接。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：所述真空度在线检测模块和数据采集终端通过各自内部的通讯电路和通讯模块通信连接。

7.根据权利要求1所述的真空度在线检测及其补偿系统，其征在于：还包括数据显示模块，所述数据显示模块用于显示数据采集终端的数据以及历史数据曲线生成模拟器生成的历史曲线。