[发明专利]一种热释电红外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种热释电红外探测器，包括带凹槽透光衬底、热释电层和光敏键合层，其特征在于：

热释电层为单晶或陶瓷热释电敏感元，带有上电极和下电极，上电极使用双电容结构，下电极设置于带凹槽透光衬底的凹槽上方，并与其相适应使下电极完全悬空，形成一个带空气隙的自支撑结构；

键合层在热释电层与带凹槽透光衬底的中间，热释电层与带凹槽透光衬底使用常温、常压键合的方式集成。

2.如权利要求1所述热释电红外探测器，其特征在于：所述上电极为双电容结构的单晶或陶瓷热释电敏感元电极，以阵列的形式排布。

3.如权利要求1所述热释电红外探测器，其特征在于：所述上电极构成的像元之间设有一个凹槽，形成一个内部的绝热结构。

4.如权利要求1所述热释电红外探测器的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、在透光衬底的一面制作出凹槽，形成带凹槽透光衬底；

步骤2、在带凹槽透光衬底上生成键合层；

步骤3、在热释电敏感元上下表面制作双电容结构的上电极与下电极；

步骤4、通过键合层将热释电层与带凹槽透光衬底进行常温、常压的键合，下电极键合后处于带凹槽透光衬底的凹槽正上方，使其悬空形成带空气隙的自支撑结构；

步骤5、将步骤4键合后的晶片制作成需要的热释电探测器。

5.如权利要求4所述热释电红外探测器的制备方法，其特征在于：

所述步骤3和4之间还包括一步：在热释电材料晶片的双电容结构上电极构成的像元之间制作出凹槽。

6.如权利要求4所述热释电红外探测器的制备方法，其特征在于：所述常温、常压键合的方式为UV胶键合。