[发明专利]一种基于超声波固结技术的电子元器件封装方法有效
| 申请号: | 201710671077.5 | 申请日: | 2017-08-08 |
| 公开(公告)号: | CN107591337B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
| 发明(设计)人: | 赵占勇;白培康;王宇;李晓峰;刘斌;王建宏;李玉新 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
| 主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56 |
| 代理公司: | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人: | 崔雪花 |
| 地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 超声波 固结 技术 电子元器件 封装 方法 | ||
1.一种基于超声波固结技术的电子元器件封装方法,其特征在于包括下述步骤:
(a)首先对需要封装电子元器件的零件进行建模,设置零件内部安装电子元器件的凹槽位置以及凹槽形状;
(b)利用Autofab软件,根据金属箔材的厚度0.1mm,所述金属箔材为铝合金,或为镁合金,或为钛合金;对步骤(a)中所得模型进行切片处理,生成mtt格式的数据文件,然后将该数据文件传入加工设备;
(c)根据零件内部安装电子元器件的凹槽位置和凹槽形状,设置切削刀的运动轨迹,切转速度设置为100r/min,切削速度设置为1m/min;
(d)用1500目砂纸对铝合金进行打磨,随后用酒精冲洗,并吹干;
(e)用超声波固结装置对金属箔材进行逐层固结,超声波功率为8kw-9kw,当固结高度达到步骤(a)中设置的凹槽位置底部时启动切削刀,按照步骤(a)中设置的凹槽形状对当前层的金属箔材进行切削,并用废料吸盘将切下的废料吸走得到带孔洞的金属箔材,然后将切削完带孔洞的金属箔材继续逐层固结,形成能够安装电子元器件的凹槽;
(f)将电子元器件放入凹槽中;
(g)将熔融的树脂填充到凹槽中以稳固电子元器件;
(h)最后利用超声波固结装置继续在凹槽开口一侧固结金属箔材以封装电子元器件。
2.根据权利要求1所述的一种基于超声波固结技术的电子元器件封装方法,其特征在于所述步骤(g)中的树脂为尼龙、或为ABS树脂、或为树脂裹覆砂、或为聚碳酸脂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





