[发明专利]一种微型固态薄膜锂电池的制备方法在审
| 申请号： | 201710669482.3 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109390633A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王胜利;任丽彬;付方樵;丁飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十八研究所 |
| 主分类号： | H01M10/058 | 分类号： | H01M10/058;H01M10/052 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 李凤 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜锂电池 微型固态 制备 薄膜 沉积锂磷氧氮 沉积金属 正极薄膜 修饰 固态电解质薄膜 原子层沉积技术 正极 磁控溅射技术 磁控溅射法 电解质薄膜 正极集流体 电池性能 电池阻抗 化学电源 界面接触 制备过程 负极 沉积 玻璃 | ||
【权利要求书】：
1.一种微型固态薄膜锂电池的制备方法，其特征是：微型固态薄膜锂电池的结构为玻璃/Al/V2O5/LiPON/Li/Cu；制备过程包括：采用磁控溅射法，沉积金属Al薄膜作为正极集流体，沉积V2O5薄膜作为正极薄膜；采用原子层沉积技术，沉积锂磷氧氮薄膜对正极薄膜进行修饰；采用磁控溅射技术，沉积锂磷氧氮固态电解质薄膜，沉积金属Li薄膜作为负极，最终完成微型固态薄膜锂电池的制备。
2.根据权利要求1所述的微型固态薄膜锂电池的制备方法，其特征是：沉积锂磷氧氮薄膜对正极薄膜进行修饰时，在完成正极薄膜的沉积后，采用原子层沉积技术分别以LiHMDS为锂源、TMPO为磷源，沉积制备锂磷氧氮修饰层。
3.根据权利要求1或2所述的微型固态薄膜锂电池的制备方法，其特征是：沉积金属Al薄膜厚度为0.15－0.25μm，沉积V2O5薄膜厚度为0.1-0.5μm；采用磁控溅射技术，溅射沉积LiPON固态电解质薄膜，薄膜厚度为0.5-1.0μm；沉积金属Li薄膜作为负极时，真空蒸发法蒸发沉积Li负极薄膜，薄膜厚度为0.5-1.0μm。
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