[发明专利]一种多个半导体激光器管芯烧结夹具及其烧结方法有效
| 申请号: | 201710644312.X | 申请日: | 2017-07-31 |
| 公开(公告)号: | CN109326951B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
| 发明(设计)人: | 刘成成;邵慧慧;于果蕾;李沛旭;肖成峰 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022;H01S5/024 |
| 代理公司: | 济南日新专利代理事务所(普通合伙) 37224 | 代理人: | 王书刚 |
| 地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体激光器 管芯 烧结 夹具 及其 方法 | ||
1.一种多个半导体激光器管芯烧结夹具,包括底座,其特征是:底座中设置有侧向开口槽,开口槽下底面设置有阶梯热沉的定位槽,底座在开口槽的上部对应阶梯热沉的每一个台阶面设置一个定位孔,固定块连接在底座上,每个定位孔中设置一个重力杆。
2.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述重力杆的上部带有夹持孔。
3.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述重力杆的上部设有套杆,套杆上设置有重力块。
4.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述重力杆的底部设置有压片。
5.根据权利要求4所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述压片呈侧开口的U形。
6.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述固定块与底座之间设置有弹簧。
7.一种权利要求1所述多个半导体激光器管芯烧结夹具的烧结方法,其特征是:包括步骤如下:
(1)将阶梯热沉放置在底座的定位槽内,使阶梯热沉上的每个台阶面处于一个定位孔的下方;通过固定块固定住阶梯热沉;
(2)将底座在热炉上加热,待温度升高到100-350℃后,在阶梯热沉的一个台阶面上需要固定COS芯片的位置放置焊料,待焊料融化后,将一个COS芯片放置在融化焊料上,并用镊子夹着COS芯片呈Z字形移动,使阶梯热沉和COS芯片的底面均匀浸润上焊料;
(3)调整COS芯片的位置和方向,使COS芯片前端与阶梯热沉前端平齐,然后将重力杆从底座上部的定位孔插入,使设置于重力杆底部的压片的下端压在COS芯片上,将重力块放置在重力杆上的套杆上;
(4)重复步骤(2)和(3),在阶梯热沉上的每个台阶面上都放置好一个COS芯片,将底座从热炉上取下,降至室温;
(5)依次取下重力块和重力杆,取下阶梯热沉,完成烧结。
8.根据权利要求7所述多个半导体激光器管芯烧结夹具的烧结方法,其特征是:所述步骤(4)中的降温是吹氮气降温。
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