[发明专利]一种多个半导体激光器管芯烧结夹具及其烧结方法有效

专利信息
申请号: 201710644312.X 申请日: 2017-07-31
公开(公告)号: CN109326951B 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 刘成成;邵慧慧;于果蕾;李沛旭;肖成峰 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/022 分类号: H01S5/022;H01S5/024
代理公司: 济南日新专利代理事务所(普通合伙) 37224 代理人: 王书刚
地址: 250101 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体激光器 管芯 烧结 夹具 及其 方法
【权利要求书】:

1.一种多个半导体激光器管芯烧结夹具,包括底座,其特征是:底座中设置有侧向开口槽,开口槽下底面设置有阶梯热沉的定位槽,底座在开口槽的上部对应阶梯热沉的每一个台阶面设置一个定位孔,固定块连接在底座上,每个定位孔中设置一个重力杆。

2.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述重力杆的上部带有夹持孔。

3.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述重力杆的上部设有套杆,套杆上设置有重力块。

4.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述重力杆的底部设置有压片。

5.根据权利要求4所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述压片呈侧开口的U形。

6.根据权利要求1所述的多个半导体激光器管芯烧结夹具,其特征是:所述固定块与底座之间设置有弹簧。

7.一种权利要求1所述多个半导体激光器管芯烧结夹具的烧结方法,其特征是:包括步骤如下:

(1)将阶梯热沉放置在底座的定位槽内,使阶梯热沉上的每个台阶面处于一个定位孔的下方;通过固定块固定住阶梯热沉;

(2)将底座在热炉上加热,待温度升高到100-350℃后,在阶梯热沉的一个台阶面上需要固定COS芯片的位置放置焊料,待焊料融化后,将一个COS芯片放置在融化焊料上,并用镊子夹着COS芯片呈Z字形移动,使阶梯热沉和COS芯片的底面均匀浸润上焊料;

(3)调整COS芯片的位置和方向,使COS芯片前端与阶梯热沉前端平齐,然后将重力杆从底座上部的定位孔插入,使设置于重力杆底部的压片的下端压在COS芯片上,将重力块放置在重力杆上的套杆上;

(4)重复步骤(2)和(3),在阶梯热沉上的每个台阶面上都放置好一个COS芯片,将底座从热炉上取下,降至室温;

(5)依次取下重力块和重力杆,取下阶梯热沉,完成烧结。

8.根据权利要求7所述多个半导体激光器管芯烧结夹具的烧结方法,其特征是:所述步骤(4)中的降温是吹氮气降温。

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