[发明专利]一种玻璃检测装置及检测方法

说明书

本发明实施例的玻璃检测装置用于解决原玻璃基板内部缺少有效检测手段的技术问题。玻璃检测装置包括微波透波载台、微波发射天线和微波接收天线，所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于所述微波透波载台的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对。本发明的玻璃检测装置形成对玻璃内部的检测结构，结合微波波束的扫描位置可以准确检测出原玻璃基板的缺陷位置。本发明实施例的玻璃检测装置检测速度快，玻璃内部缺陷定位准确，并具有一定缺陷种类分辨的性能。本发明实施例还包括玻璃检测方法。

技术领域

本发明涉及显示面板检测系统和方法，特别涉及一种玻璃检测装置及检测方法。

背景技术

在AMOLED(即Active-matrix organic light emitting diode)等类型的显示面板生产过程中，对承载显示单元和电路的原玻璃基板(即bare glass)进行质量检测以发现质量缺陷。目前只能通过CCD检测原玻璃基板表面有无出现划伤、污点等，对于基板内部缺陷却无法进行有效地检测，而内部缺陷很有可能在后续的制程过程中发生破片等基板损害。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种玻璃检测装置及检测方法，用于解决原玻璃基板内部缺少有效检测手段的技术问题。

本发明的玻璃检测装置，包括微波发射天线和微波接收天线，所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于待检测原玻璃基板的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对。

在一个实施例中还包括微波透波载台，所述微波透波载台贴合承载所述待检测原玻璃基板。

在一个实施例中所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线重合且所述口面轴线与所述微波透波载台垂直。

在一个实施例中还包括微波发生器和微波信号检测仪，所述微波发生器的射频信号输出端口连接所述微波发射天线的馈源，所述微波信号检测仪的检测信号输入端口连接所述微波接收天线的馈源，所述微波发生器的旁路检测端口连接所述微波信号检测仪的参考信号输入端口。

在一个实施例中还包括第二微波接收天线，所述第二微波接收天线与所述微波发射天线位于所述待检测原玻璃基板的同一侧，所述第二微波接收天线的口面朝向所述微波发射天线口面所面对的待检测原玻璃基板局部。

在一个实施例中所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线重合且与所述第二微波接收天线的口面轴线位于垂直所述微波透波载台的同一垂直平面内，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线与所述承载面斜交；所述第二微波接收天线的口面轴线与所述微波发射天线的口面轴线的反射线平行。

在一个实施例中还包括微波发生器和微波信号检测仪，所述微波发生器的射频信号输出端口连接所述微波发射天线的馈源，所述微波信号检测仪的检测信号输入端口连接所述微波接收天线的馈源，所述微波信号检测仪的第二检测信号输入端口连接所述第二微波接收天线的馈源，所述微波发生器的旁路检测端口连接所述微波信号检测仪的参考信号输入端口。

本发明的玻璃检测方法，包括：

固定原玻璃基板；

在所述原玻璃基板的一侧采用扫描微波波束扫描所述原玻璃基板；

在所述原玻璃基板的另一侧同步接收透射微波波束并对所述透射微波波束的物理参数进行检测。

在一个实施例中还包括：

在所述扫描微波波束扫描所述原玻璃基板的一侧同步接收反射微波波束并对所述反射微波波束的物理参数进行检测。

在一个实施例中还包括：

将所述扫描微波波束作为所述检测的参考信号。