[发明专利]可产生暗环的圆环达曼光栅

权利要求书

1.一种可产生暗环的圆环达曼光栅，其特征在于该圆环达曼光栅为透射式面浮雕型圆环达曼光栅，以熔石英为基底材料，通过光刻和干法刻蚀工艺在熔石英基底上直接刻蚀出二值面浮雕型同心环区微结构，其浮雕型同心环区的半径沿径向坐标具有周期性，且一个周期内的归一化半径依次为0.0118,0.1371,0.5,0.5118,0.6371；相邻环区的台阶深度差满足公式：

其中，λ为对应的工作波长；n为基底材料对应工作波长的折射率。

2.一种可产生暗环的圆环达曼光栅，其特征在于该圆环达曼光栅为反射式面浮雕型圆环达曼光栅，以熔石英为基底材料，通过光刻和干法刻蚀工艺在熔石英基底上直接刻蚀出二值面浮雕型同心环区微结构，其浮雕型同心环区半径沿径向坐标具有周期性，且一个周期内的归一化半径依次为0.0118,0.1371,0.5,0.5118,0.6371；相邻环区的台阶深度差满足公式：

其中，λ为对应的工作波长；在所得到的二值面浮雕同心环区微结构表面再镀有一层金膜反射层。