[发明专利]气体供给系统、基板处理系统及气体供给方法

权利要求书

1.一种气体供给系统，向基板处理装置的腔室供给气体，该气体供给系统具备：

第1流路，连接第1气体的第1气源与所述腔室；

第2流路，连接第2气体的第2气源与所述第1流路；

控制阀，设置于所述第2流路，并将所述第2气体的流量控制为规定量；

节流孔，设置于所述控制阀的下游且为所述第2流路的末端；

开闭阀，设置于所述第1流路与所述第2流路的末端的连接部位，并控制从所述节流孔的出口向所述第1流路供给的所述第2气体的供给定时；

排气机构，连接于所述第2流路中所述控制阀与所述节流孔之间的流路，并排出所述第2气体；及

控制器，使所述控制阀、所述开闭阀及所述排气机构动作；

所述开闭阀具有下部主体部、上部主体部以及配置在所述下部主体部和所述上部主体部之间的密封部件；

所述下部主体部在其内部包含：朝向所述上部主体部一侧突出、端部与所述第2流路的末端相对应、并在所述端部支承所述节流孔的节流孔支承部，以及，以包围所述节流孔支承部周围的方式被划分、成为所述第1流路的一部分的内部流路；

在所述下部主体部的内部，所述第1流路和所述第2流路合流，

所述密封部件，在进行关闭控制时以密封所述节流孔的出口的方式按压于所述节流孔，在进行打开控制时从所述节流孔分离。

2.根据权利要求1所述的气体供给系统，其中，

所述开闭阀具有：固定支承所述密封部件的缸体；对所述缸体沿所述密封部件按压所述节流孔的方向弹性施力的施力部件；及使缸体沿与所述按压的方向相反的方向移动的驱动部。

3.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

所述节流孔及所述开闭阀配置于比设置在所述腔室的进气块更靠下游侧。

4.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

所述节流孔及所述开闭阀配置于比设置在所述腔室的进气块更靠上游侧。

5.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

所述排气机构具有：

小排气流路，连接于所述第2流路且成为第1排气量；

大排气流路，连接于所述第2流路且成为大于所述第1排气量的第2排气量；及

第1排气阀，设置于所述大排气流路且控制排气定时。

6.根据权利要求5所述的气体供给系统，其中，

所述排气机构还具有第2排气阀，该第2排气阀设置于所述小排气流路且控制排气定时。

7.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

所述排气机构在所述控制阀与所述节流孔之间的流路中连接于所述节流孔侧。

8.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

还具备压力检测器，该压力检测器检测所述第2流路中所述控制阀与所述节流孔之间的流路中的所述第2气体的压力，

所述压力检测器在所述控制阀与所述节流孔之间的流路中位于所述节流孔侧，

所述控制阀根据所述压力检测器的检测结果控制所述第2气体的流量。

9.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

还具备温度检测器，该温度检测器检测所述第2流路中所述控制阀与所述节流孔之间的流路中的所述第2气体的温度，

所述温度检测器在所述控制阀与所述节流孔之间的流路中位于所述节流孔侧，

所述控制阀根据所述温度检测器的检测结果控制所述第2气体的流量。

10.根据权利要求1或2所述的气体供给系统，其中，

在以目标供给定时向所述第1流路供给目标流量的所述第2气体的情况下，所述控制器在成为所述目标供给定时为止的规定期间内，在关闭所述开闭阀且使所述排气机构动作的状态下，控制所述控制阀而使所述目标流量的所述第2气体流通，在成为所述目标供给定时时打开所述开闭阀。