[发明专利]一种防铜氧化碳氢清洗方法及其设备

权利要求书

1.一种防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：采用防铜氧化碳氢清洗设备，所述设备包括脱气超声波清洗槽A、脱气超声波清洗槽B、真空超声波清洗槽、保护剂槽、真空蒸汽清洗干燥槽、三层方篮、三隔滚桶、蒸汽发生器兼蒸馏再生机、循环过滤系统，具体的，三层方篮或三隔滚桶用于放置待清洗工件，脱气超声波清洗槽A、脱气超声波清洗槽B、真空超声波清洗槽、保护剂槽、真空蒸汽清洗干燥槽依次相连，循环过滤系统分别与脱气超声波清洗槽A、脱气超声波清洗槽B、真空超声波清洗槽相连接，蒸汽发生器兼蒸馏再生机与循环过滤系统相连接；采用三层方篮与三隔滚桶兼容的清洗方式，将含铜工件依次经过脱气碳氢超声波清洗A、脱气碳氢超声波清洗B、真空碳氢超声波清洗、防铜变色处理、真空蒸汽处理、真空干燥，其中，所述的脱气碳氢超声波清洗A、脱气碳氢超声波清洗B和真空碳氢超声波清洗都配有在线循环过滤装置，在清洗的同时对清洗剂进行在线连续循环过滤，所述的脱气碳氢超声波清洗A中在线连续循环过滤的过滤精度为50μm；所述的脱气碳氢超声波清洗B中在线连续循环过滤的过滤精度为20μm；所述的真空碳氢超声波清洗中在线连续循环过滤的过滤精度为10μm；所述的真空干燥的条件为真空干燥时真空度≤0.3kPa；时间为180S。

2.根据权利要求1所述的防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：所述的脱气碳氢超声波清洗A、脱气碳氢超声波清洗B和真空碳氢超声波清洗中使用的清洗剂为MD-100碳氢清洗剂原液。

3.根据权利要求1所述的防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：所述的脱气碳氢超声波清洗A和脱气碳氢超声波清洗B的条件为温度30℃～40℃；时间120S～180S；超声波功率28KHZ。

4.根据权利要求1所述的防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：所述的真空碳氢超声波清洗中温度为30℃～40℃；时间130S～180S；真空度为10kPa～大气压反复变化。

5.根据权利要求1所述的防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：所述的防铜变色处理中使用的处理液为含有HQ-21铜材钝化剂的溶液，其中溶剂为三氯乙烯、三氯甲烷、汽油或碳氢清洗剂中的任意一种。

6.根据权利要求5所述的防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：所述的防铜变色处理中使用的处理液的质量浓度为0.3％～5％，室温下处理时间为120S～180S。

7.根据权利要求1所述的防铜氧化碳氢清洗方法，其特征在于：所述的真空蒸汽处理的条件为真空度10kPa～15kPa；蒸汽温度为100℃～120℃；时间为180S。

8.一种利用权利要求1-7中任一项所述防铜氧化碳氢清洗方法的设备，其特征在于：包括脱气超声波清洗槽A、脱气超声波清洗槽B、真空超声波清洗槽、保护剂槽、真空蒸汽清洗干燥槽、三层方篮、三隔滚桶、蒸汽发生器兼蒸馏再生机、循环过滤系统，具体的，三层方篮或三隔滚桶用于放置待清洗工件，脱气超声波清洗槽A、脱气超声波清洗槽B、真空超声波清洗槽、保护剂槽、真空蒸汽清洗干燥槽依次相连，循环过滤系统分别与脱气超声波清洗槽A、脱气超声波清洗槽B、真空超声波清洗槽相连接，蒸汽发生器兼蒸馏再生机与循环过滤系统相连接。