[发明专利]器件制造系统及图案形成装置

权利要求书

1.一种图案形成装置，将长尺寸的挠性的片材基板沿长边方向搬送的同时，在该片材基板上的规定位置形成图案，其特征在于，具有：

图案化装置，其具有包括用于将所述片材基板沿着规定的搬送路径在长边方向上搬送的多个引导辊在内的搬送部、和设在所述搬送路径的一部分上并在所述片材基板的表面的所述规定位置形成所述图案的图案形成部；

减振装置，其设在设置有所述图案化装置的基台面与所述图案化装置之间；

位置调整装置，其与所述图案化装置独立地设置且设置在所述基台面上，包括用于朝向所述图案化装置的所述搬送部送出所述片材基板的引导辊，并且在与所述片材基板的长边方向正交的宽度方向上调整所述片材基板的位置；

位置误差计测部，其计测和所述图案化装置与所述位置调整装置的相对的位置变化相关的变化信息；和

控制装置，其基于所述变化信息来控制所述位置调整装置，

在所述搬送部设有能够倾斜的调整辊，所述调整辊相对于所述搬送路径中的所述图案形成部而在上游侧，配置成在所述长边方向上施有规定的张力的状态下，将所述片材基板的所述搬送路径折曲，

所述控制装置通过基于所述变化信息使所述调整辊倾斜，来调整向图案形成部搬送的片材基板的宽度方向上的位置。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

所述图案化装置的所述搬送部具有旋转滚筒，所述旋转滚筒能够以配置成沿所述片材基板的宽度方向延伸的旋转轴为中心而旋转，并且所述旋转滚筒具有相对于所述旋转轴为一定曲率半径的圆筒面状的外周面，所述旋转滚筒沿所述外周面支承所述片材基板的长边方向的一部分。

3.如权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，

所述位置误差计测部具有多个位置检测部，所述位置检测部用于检测在所述片材基板的所述宽度方向上的所述图案化装置与所述位置调整装置的相对位置的变化、和所述图案化装置与所述位置调整装置的相对倾斜和/或相对旋转的变化。

4.如权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，

还设有第1基板检测部，为了检测从所述位置调整装置送至所述图案化装置的所述搬送部的所述片材基板的所述宽度方向上的倾斜，所述第1基板检测部在所述片材基板的宽度方向的两侧的边缘部分别计测所述片材基板的表面的法线方向的位置的差值。

5.如权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于，

所述控制装置基于在所述第1基板检测部计测到的所述片材基板的倾斜，调整设于所述图案化装置的所述搬送部的所述调整辊的倾斜量，修正支承于所述旋转滚筒的所述片材基板向所述宽度方向的位移。

6.如权利要求2～5中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述图案化装置的所述图案形成部包含曝光装置和印刷装置中的某一方，所述曝光装置向由所述旋转滚筒的外周面支承的所述片材基板的表面投射与所述图案相应的光能，所述印刷装置通过涂敷墨水而在所述片材基板的表面上描画所述图案。