[发明专利]切削方法和切削装置有效
| 申请号: | 201710462981.5 | 申请日: | 2017-06-19 |
| 公开(公告)号: | CN107520976B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
| 发明(设计)人: | 重松孝一 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
| 主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;B28D7/02;H01L21/304 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;乔婉 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 切削 方法 装置 | ||
1.一种切削方法,利用切削刀具对被加工物进行切削,其特征在于,
该切削方法具有:
保持步骤,利用保持工作台对被加工物进行保持;以及
切削步骤,在实施了该保持步骤之后,使旋转的切削刀具切入该保持工作台所保持的被加工物,并且使该保持工作台与该切削刀具相对移动,从而利用该切削刀具对被加工物进行切削,
在该切削步骤中,一边利用裂纹检测单元对被加工物中有无裂纹进行检测一边执行切削,所述裂纹检测单元具有两个,两个所述裂纹检测单元在该切削刀具对被加工物实施的切削加工所行进的切削行进方向上分别配置在比该切削刀具靠后方的位置和比该切削刀具靠前方的位置。
2.根据权利要求1所述的切削方法,其特征在于,
在该切削步骤的实施中,在由该裂纹检测单元检测出被加工物的裂纹时,停止该保持工作台与该切削刀具的相对移动或者减慢相对移动的速度。
3.一种切削装置,其对被加工物进行切削,其特征在于,
该切削装置具有:
保持工作台,其对被加工物进行保持;
切削单元,其具有对该保持工作台所保持的被加工物进行切削的切削刀具;
移动单元,其使该切削刀具与该保持工作台相对移动;以及
两个裂纹检测单元,两个所述裂纹检测单元在该切削刀具对被加工物实施的切削加工所行进的切削行进方向上分别配置在比该切削刀具靠后方的位置和比该切削刀具靠前方的位置,对被加工物中有无裂纹进行检测。
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