[发明专利]硬掩模用组合物

权利要求书

1.一种硬掩模用组合物，其包含共聚物和溶剂，所述共聚物包含下述化学式1所表示的重复单元，

[化学式1]

式中，Ar为选自由下述化学式1-1～下述化学式1-5所表示的基团组成的组中的至少一种，

化学式1-1

化学式1-2

化学式1-3

化学式1-4

化学式1-5

R为氢原子、碳原子数1～6的烷基或碳原子数6～18的芳基，

所述V为乙烯基、乙炔基、或者被乙烯基或乙炔基取代的苯基，

所述X为选自由氢原子、下述化学式2-1和下述化学式2-2所表示的基团组成的组中的至少一种，

化学式2-1

化学式2-2

所述Ar、R、V和X各自独立地可被碳原子数1～6的烷基、羟基、甲氧基或苯基进一步取代，

n为1～190的整数。

2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，包含所述化学式1所表示的重复单元的共聚物是通过在由碳原子数6～35的芳基化合物与下述化学式p-1-1～p-1-3中的任一个所表示的化合物的缩合反应制造的预聚物中添加下述化学式p-2-1～p-2-4中的任一个所表示的化合物而制造的化合物，

化学式p-1-1

HCHO

化学式p-1-2

化学式p-1-3

化学式p-2-1

化学式p-2-2

化学式p-2-3

化学式p-2-4

3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1所表示的重复单元的含量在所述共聚物中为5～50摩尔％。

4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，组合物总重量中，包含所述化学式1所表示的重复单元的共聚物的含量为5～15重量％，所述溶剂的含量为85～95重量％。

5.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，其进一步包含交联剂和催化剂中的至少一种。