[发明专利]一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置

权利要求书

1.一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：该装置包括真空室(1)、固定电极、转动电极；所述真空室上安装有载体气体和单体蒸汽管路(9)及排气管(10)，待处理的基材(8)放置于真空室内转动电极围成的空间内；

所述固定电极包括一组固定金属直杆(2)、一组绝缘基座(3)和导线(4)，固定金属直杆(2)通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆(2)经导线串联连接构成固定电极；

所述转动电极包括一组转动金属直杆(5)和金属转架(6)，所述金属转架的旋转轴与真空室的中心轴同轴，金属转架可绕旋转轴转动；所述转动金属直杆(5)沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电极；

所述固定电极与转动电极构成定转电极组。

2.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述真空室侧部的室体内壁任一横截面为相同直径的圆或相同边长的正多边形，所述正多边形边数至少为6边；所述真空室的顶盖和底盖为与真空室的侧部室体内壁横截面匹配的平板或拱形结构。

3.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述排气管(10)竖直安装于真空室内的中心轴上，排气管一端伸出真空室后与真空泵连接，所述排气管的管壁上开孔。

4.根据权利要求3所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述排气管内径为25-100mm，其管壁上均匀开孔，孔径为2-30mm，孔间隔为2-100mm。

5.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述固定电极连接高频电源(7)输出端，所述转动电极接地；所述高频电源的频率范围为10kHz-100MHz，所述高频电源输出的电压波形为正弦波或方波。

6.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述固定电极所在的柱面与转动电极所在的柱面之间的距离为1-5cm。

7.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述固定金属直杆和转动金属直杆的直径范围为1-20mm，材质为铜、铝或铁。

8.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述相邻两根固定金属直杆或相邻两根转动金属直杆之间的间距大于15cm。