[发明专利]一种感测膜片以及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种感测膜片，其特征在于：包括位于中部区域的敏感部(2)，以及位于敏感部(2)外侧边缘且与所述敏感部(2)一体成型的固定部(5)，所述敏感部(2)和所述固定部(5)在同一薄膜层上通过刻蚀或者腐蚀的工艺形成；还包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)边缘位置且非封闭的缝隙部(4)，所述缝隙部(4)在感测膜片上围成了根部位于固定部(5)上、自由端延伸至敏感部(2)上边缘位置的保持部(3)；所述敏感部(2)被配置为在受到冲击时相对于保持部(3)发生位移，以在保持部(3)与敏感部(2)之间形成气流流通通道；

所述缝隙部(4)包括从固定部(5)延伸至敏感部(2)上的第一段(40)，以及从第一段(40)端头迂回延伸至固定部(5)的第二段(41)；

在所述第一段(40)、第二段(41)的自由端头设置有偏离自身延伸方向的延伸部(42)。

2.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述保持部(3)至少设置有一个。

3.根据权利要求2所述的感测膜片，其特征在于：所述保持部(3)至少设置有三个，均匀分布在敏感部(2)边缘的周向上。

4.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述第一段(40)、第二段(41)沿其中心轴线对称。

5.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述缝隙部(4)整体呈U形、方形、半圆形或半椭圆形。

6.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述缝隙部(4)在敏感部(2)上延伸的面积与敏感部(2)面积的比例为5％-50％。

7.根据权利要求1所述的感测膜片，其特征在于：所述缝隙部(4)通过腐蚀或者刻蚀的方式形成。

8.一种MEMS麦克风，包括背极以及根据权利要求1-7任一项所述的感测膜片。