[发明专利]可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置有效

专利信息
申请号: 201710247963.5 申请日: 2017-04-17
公开(公告)号: CN108735646B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 卢彦豪 申请(专利权)人: 梭特科技股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677
代理公司: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 王洁
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 兼用 正面 反面 装置
【权利要求书】:

1.一种可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,包含:

第一移转机构,包括第一移转构件,所述的第一移转构件经设置而绕第一旋转轴线沿第一旋转路径旋转;

第二移转机构,包括第二移转构件,所述的第二移转构件经设置而绕第二旋转轴线沿第二旋转路径旋转,所述的第二旋转路径相接于所述的第一旋转路径;以及

第三移转机构,包括第三移转构件,所述的第三移转构件经设置而绕第三旋转轴线沿第三旋转路径旋转,所述的第三旋转路径相接于所述的第一旋转路径以及所述的第二旋转路径,

其中,待置晶的目标晶粒依序通过所述的第一移转构件及所述的第二移转构件的移转,而经由所述的第一旋转路径及所述的第二旋转路径自晶粒供应面移转所述的目标晶粒至置晶承托面,或者所述的目标晶粒依序通过所述的第一移转构件、所述的第三移转构件及所述的第二移转构件的移转,而经由所述的第一旋转路径、所述的第三旋转路径及所述的第二旋转路径自所述的晶粒供应面移转所述的目标晶粒至所述的置晶承托面,以及

所述的第一移转构件、所述的第二移转构件及所述的第三移转构件中任二者之间的移转以对接的方式进行,所述的对接的方式分别吸取所述的目标晶粒的相反两面而移转晶粒,而使所述的目标晶粒每经过一次移转则翻面,以通过移转的次数决定所述的目标晶粒以正面或反面置晶于所述的置晶承托面。

2.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第一旋转轴线、所述的第二旋转轴线及所述的第三旋转轴线互相平行。

3.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第一旋转轴线、所述的第二旋转轴线及所述的第三旋转轴线彼此为非平行。

4.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第二旋转轴线为平行于所述的置晶承托面,且所述的第二移转机构经设置而平行于所述的置晶承托面而移动。

5.如权利要求2所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,还包含第四移转机构,包括第四移转构件,所述的第四移转构件经设置而绕第四旋转轴线沿第四旋转路径旋转,所述的第四旋转路径相接于所述的第二旋转路径,以使所述的目标晶粒在所述的第二移转构件的移转后,更通过所述的第四移转构件的移转而移转所述的目标晶粒至所述的置晶承托面。

6.如权利要求5所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第四旋转轴线平行于所述的第一旋转轴线、所述的第二旋转轴线及所述的第三旋转轴线。

7.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第三移转机构固定设置于所述的第一移转机构及所述的第二移转机构之间。

8.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第二移转机构具有多个第二移转构件。

9.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的晶粒供应面为相对所述的置晶承托面垂直、水平或夹一夹角。

10.如权利要求1所述的可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置,其特征在于,所述的第一移转机构具有多个第一移转构件。

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