[发明专利]一种蒸镀方法在审
| 申请号： | 201710202453.6 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106702319A | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 郑克宁;孔超;陈栋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 方法 | ||
1.一种蒸镀方法，其特征在于，该方法包括：
在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层；
使用形成有附加膜层的蒸镀掩膜版，在待蒸镀基板上蒸镀形成蒸镀膜层；
其中，所述附加膜层材料的活泼性强于所述蒸镀膜层材料的活泼性。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：
在使用所述形成有附加膜层的蒸镀掩膜版至少进行一次蒸镀之后，使用清洗液对所述形成有附加膜层的蒸镀掩膜版进行清洗，去除所述附加膜层。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述使用清洗液对所述蒸镀掩膜版进行清洗，包括：
将所述蒸镀掩膜版置于盛有清洗液的容器中浸泡一定时长。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述清洗液为酸性溶液、碱性溶液、或有机物溶液。
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述清洗液为醋酸或浓度小于5％的氢氧化钾溶液。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在蒸镀掩膜版上形成一层附加膜层，包括：
在蒸镀掩膜版上远离所述待蒸镀基板的一侧形成一层附加膜层。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述附加膜层的材料为金属材料或两性氧化物。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述附加膜层的材料为下列材料之一或组合：
镁、钙、锌、铝或氧化铝。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述蒸镀膜层的材料为无机材料。
10.如权利要求1-9任一项所述的方法，其特征在于，所述待蒸镀基板为有机发光二极管显示基板；
所述蒸镀膜层为光取出层，或封装层中的无机膜层。
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