[发明专利]折叠十字型太赫兹薄膜滤波器及制备方法

权利要求书

1.一种折叠十字型太赫兹薄膜滤波器，其特征在于：包括若干周期性排列的金属孔阵列1和金属薄膜2，金属孔阵列1内嵌在金属薄膜2里面。

2.根据权利要求1所述的折叠十字型太赫兹薄膜滤波器，其特征在于：金属孔阵列1的形状为折叠十字型，金属孔阵列1的周期是微米量级。

3.根据权利要求1所述的折叠十字型太赫兹薄膜滤波器，其特征在于：金属薄膜2为镂空的单层金属镍薄膜，金属薄膜2的厚度为6-12微米。

4.根据权利要求1所述的折叠十字型太赫兹薄膜滤波器，其特征在于：每个金属孔包括4个折叠十字型臂，折叠十字型臂包括十字臂和折叠臂，折叠臂垂直于十字臂，且四个折叠臂的方向一致。

5.一种折叠十字型太赫兹薄膜滤波器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)在洁净的硅片基底上，利用磁控溅射镀膜工艺，蒸镀一层铜金属膜；

(2)在镀有铜层的硅片基底上，用旋涂机旋涂一层光刻胶，利用紫外曝光技术，制备得有设计结构的硅片基底；

(3)将有设计结构的硅片基底置于金属镍电镀液中进行电镀，电镀时阳极为金属镍板，阴极为有设计结构的镀铜层硅片，制备得带有基底的金属镍薄膜；

(4)将带有基底的金属镍薄膜放入NH₃H₂O和H₂O₂溶液中进行湿法腐蚀，腐蚀掉金属镍和基底硅片之间的铜层，从而使金属镍薄膜从基底上脱落下来，制备得单层金属镍薄膜；

(5)将金属薄膜放入丙酮中加热，同时外加超声，祛除金属镍孔中的光刻胶，制备得镂空的单层镍金属孔薄膜。

6.根据权利要求5所述的折叠十字型太赫兹薄膜滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中光刻胶为su-8 2010光刻胶。

7.根据权利要求5所述的折叠十字型太赫兹薄膜滤波器的制备方法，其特征在于：所述步骤(4)中NH₃H₂O和H₂O₂的比例为1∶1。