[发明专利]基板搬送装置、基板搬送方法和存储介质

权利要求书

1.一种基板搬送装置，其具有在横方向上能够自由移动的基板保持部，用于从第一组件向第二组件搬送圆形的基板，该基板搬送装置的特征在于，包括：

传感器部，其为了检测由所述基板保持部保持的基板的周边部的至少4个位置，具有至少4个由对所述周边部的相互不同的位置照射光的光源部和与各所述光源部成对的受光部构成的传感器对；

用于使所述基板保持部相对所述传感器部相对地移动的驱动部；和

为了控制所述基板保持部、驱动部和传感器部的各动作而输出控制信号的控制部，

所述控制部输出控制信号以执行以下步骤：

判断步骤，基于所述各传感器对的受光部的检测结果，对于每个传感器对，判断该传感器对能否使用；

检测步骤，使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对所述各传感器对，位于预先设定的设定位置，检测所述基板的周边部的各位置；和

决定步骤，在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为4个以上时，基于由至少4个能够使用的传感器对在所述检测步骤中检测出的各周边部的位置，决定基板保持部对所述第二组件的交接位置，在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为3个时，基于由该3个传感器对在所述检测步骤中检测出的各周边部的位置，决定基板保持部对所述第二组件的交接位置。

2.如权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于：

在所述基板的周边部设置有切口，

在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为3个时，

所述控制部输出控制信号，使得在所述检测步骤中执行：

第一步骤，使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对所述传感器部位于预先设定的第一位置，检测所述基板的周边部的各位置；和

第二步骤，使所述基板保持部相对传感器部位于从该第一位置偏移的第二位置，检测基板的周边部的各位置，

在所述决定步骤中，基于由判断为能够使用的传感器对在所述第一步骤和所述第二步骤中各自取得的周边部的位置，决定基板保持部对所述第二组件的交接位置。

3.如权利要求2所述的基板搬送装置，其特征在于，

在所述决定步骤中执行以下步骤：

第三步骤，当将光源部的光照射区域位于所述基板的切口的状态称为异常状态时，基于所述第一步骤和所述第二步骤的各检测结果，导出以下a～d中任意一个结果，

a.在所述第一位置和第二位置中的任一个位置发生异常状态，能够确定在所述第一位置和第二位置中的哪一个位置发生了异常状态，

b.在所述第一位置和第二位置均没有发生异常状态，

c.在所述第一位置和第二位置双方发生异常状态，

d.在所述第一位置和第二位置中的至少一个位置发生异常状态，但不能够确定该位置；和

第四步骤，在所述第三步骤的结果为a或b时，基于在所述第一位置和第二位置中的没有发生异常状态的位置检测出的周边部的各位置，决定基板保持部对第二组件的交接位置，在所述结果为c或d时，为了向所述基板的离开切口的位置照射光，使所述基板保持部相对传感器部移动至与所述第一位置和第二位置不同的第三位置，检测基板的周边部的各位置，基于该各位置决定所述交接位置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的基板搬送装置，其特征在于：

在所述判断步骤中，所述传感器对能否使用的判断是基于所述受光部接收的光量或接收光的区域的大小进行的。

5.一种基板搬送方法，其特征在于：

其为使用权利要求1所述的基板搬送装置的基板搬送方法，

所述基板搬送方法包括：

判断步骤，基于所述各传感器对的受光部的检测结果，对于每个传感器对，判断该传感器对能否使用；

检测步骤，使保持有从所述第一组件接受到的基板的基板保持部，相对所述各传感器对，位于预先设定的设定位置，检测所述基板的周边部的各位置；和

决定步骤，在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为4个以上时，基于由至少4个能够使用的传感器对在所述检测步骤中检测出的各周边部的位置，决定基板保持部对所述第二组件的交接位置，在所述判断步骤中判断为能够使用的传感器对为3个时，基于由该3个传感器对在所述检测步骤中检测出的各周边部的位置，决定基板保持部对所述第二组件的交接位置。