[发明专利]用于蚀刻室的快速阻抗切换的变压器耦合电容性调谐电路

权利要求书

1.一种用于感应耦合等离子体(ICP)室的变压器耦合电容性调谐(TCCT)电路，其包括：

匹配电路，其包括：

第一开关电容器电路和第一电感器，其中所述第一开关电容器电路包括：

连接至RF输入的第一端子；

第二端子；

第一电容器，其连接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一个；

第二电容器，其连接到所述第一端子和所述第二端子中的至少一个；以及

第一开关，其与所述第一电容器和所述第二电容器中的至少一个通信，以改变所述第一端子和所述第二端子之间的电容值；和

第二开关电容器电路，其包括：

第三端子，其连接到所述第一开关电容器电路的所述第二端子；

连接到所述第一电感器的第四端子；

连接到所述第三端子和所述第四端子中的至少一个的第三电容器；

连接到所述第三端子和所述第四端子中的至少一个的第四电容器；以及

第二开关，其与所述第三电容器和所述第四电容器中的至少一个通信，以改变所述第三端子和所述第四端子之间的电容值；并且

所述TCCT电路还包括：

第五电容器，其中所述第五电容器的第一端子连接所述第一开关电容器电路的所述第二端子和所述第二开关电容器电路的所述第三端子，并且其中所述第五电容器的所述第二端子接地；和

功率分配器，其与所述匹配电路和所述ICP室的感应线圈通信，

其中所述功率分配器至少包括一个可变电容器，

所述变压器耦合电容性调谐(TCCT)电路还包括控制器，其配置为在第一状态和第二状态之间切换所述第一开关，以在介于10Hz和1kHz之间的频率改变所述电容值。

2.根据权利要求1所述的TCCT电路，其中所述第一电容器和所述第二电容器包括电动机控制的真空电容器。

3.根据权利要求1所述的TCCT电路，其中所述第三电容器和所述第四电容器包括电动机控制的真空电容器。

4.根据权利要求1所述的TCCT电路，其中：

所述第一电容器连接到所述第一开关电容器电路的所述第一端子，

所述第二电容器连接到所述第一开关电容器电路的所述第一端子，并且

所述第一开关连接在所述第一开关电容器电路的所述第二端子和所述第一电容器之间；以及

所述第一开关电容器电路还包括第三开关，所述第三开关其连接在所述第一开关电容器电路的所述第二端子和所述第二电容器之间。

5.根据权利要求1所述的TCCT电路，其中：

所述第一电容器连接到所述第一开关电容器电路的所述第一端子，

所述第二电容器连接到所述第一开关电容器电路的所述第一端子和所述第二端子，并且

所述第一开关连接在所述第一开关电容器电路的所述第二端子和所述第一电容器之间。

6.根据权利要求1所述的TCCT电路，其中：

所述第三电容连接到所述第二开关电容器电路的所述第四端子，

所述第四电容器连接到所述第二开关电容器电路的所述第四端子，并且

所述第二开关连接在所述第二开关电容器电路的所述第三端子和所述第三电容器之间；以及

所述第二开关电容器电路还包括连接在所述第二开关电容器电路的所述第三端子和所述第四电容器之间的第三开关。

7.根据权利要求1所述的TCCT电路，其中：

所述第三电容器连接到所述第二开关电容器电路的所述第四端子，

所述第四电容器连接到第二开关电容器电路的所述第三端子和所述第四端子，并且

所述第二开关连接在所述第二开关电容器电路的所述第三端子和所述第三电容器之间。