[发明专利]高分辨率太赫兹波聚光模块、散射光检测模块和采用太赫兹贝塞尔光束的高分辨率检查装置

权利要求书

1.一种散射光检测模块，包括：

环形光束形成部，利用太赫兹波贝塞尔光束形成环形光束，并且将形成的环形光束聚光到检查对象物体；

环形光束检测部，检测透过所述检查对象物体的环形光束；

散射光检测部，设置在从所述环形光束形成部形成并入射到所述环形光束检测部的环形光束的内部，并且在利用所述环形光束检查所述检查对象物体时，检测从所述检查对象物体反射或者透过的散射光。

2.根据权利要求1所述的散射光检测模块，其特征在于，

所述环形光束形成部包括：

第三透镜，形成环形光束，并且将形成的环形光束聚光到检查对象物体。

3.根据权利要求2所述的散射光检测模块，其特征在于，

所述散射光检测部包括：

反射散射光检测部，设置在从所述第三透镜射出的环形光束的内部，并且检测从所述检查对象物体反射的散射光。

4.根据权利要求2所述的散射光检测模块，其特征在于，

所述散射光检测部包括：

透射散射光检测部，配置在从所述第三透镜入射的环形光束的内部，并且检测从所述检查对象物体透过的散射光。

5.一种散射光检测模块，其特征在于，包括：

环形光束形成部，所述环形光束形成部包括利用太赫兹波贝塞尔光束形成环形光束，并且将形成的环形光束聚光到检查对象物体的第三透镜；

环形光束检测部，检测透过所述检查对象物体的环形光束；

透射散射光检测部，设置在从所述环形光束形成部形成并入射到所述环形光束检测部的环形光束的内部，并且在利用所述环形光束检查所述检查对象物体时，检测从所述检查对象物体透过的散射光；以及

反射散射光检测部，

所述第三透镜包括：光路变更部，变更从所述检查对象物体反射的散射光的光路；

所述反射散射光检测部检测从所述光路变更部入射的散射光。

6.一种利用太赫兹波贝塞尔光束的高分辨率检查装置，包括：

太赫兹波生成部，生成太赫兹波；

贝塞尔光束形成部，利用从所述太赫兹波生成部入射的太赫兹波生成太赫兹波贝塞尔光束；

环形光束形成部，利用所述太赫兹波贝塞尔光束形成环形光束，并且将形成的环形光束聚光到检查对象物体；

环形光束检测部，检测透过所述检查对象物体的环形光束；以及

散射光检测部，设置在从所述环形光束形成部形成并入射到所述环形光束检测部的环形光束的内部，并且在利用所述环形光束检查所述检查对象物体时，检测从所述检查对象物体反射或者透过的散射光。

7.根据权利要求6所述的利用太赫兹波贝塞尔光束的高分辨率检查装置，其特征在于，

所述环形光束形成部包括：

第三透镜，形成环形光束，并且将形成的环形光束聚光到检查对象物体。

8.根据权利要求7所述的利用太赫兹波贝塞尔光束的高分辨率检查装置，其特征在于，

所述散射光检测部包括：

反射散射光检测部，设置在从所述第三透镜射出的环形光束的内部，并且检测从所述检查对象物体反射的散射光。

9.根据权利要求7所述的利用太赫兹波贝塞尔光束的高分辨率检查装置，其特征在于，

所述散射光检测部包括：

透射散射光检测部，配置在从所述第三透镜入射的环形光束的内部，并且检测从所述检查对象物体透过的散射光。