[发明专利]背面入射型受光元件及光模块

权利要求书

1.一种背面入射型受光元件，其特征在于，具备：

衬底，其具有表面和与所述表面相对的背面；

n型层、倍增层、p型电场控制层、光吸收层及窗口层，它们依次层叠于所述表面；

P型区域，其形成于所述窗口层的一部分；

阳极电极，其形成于所述P 型区域之上，与所述P 型区域连接；以及

阳极焊盘以及阴极焊盘，它们形成于所述背面，

第1连接孔以及第2连接孔贯穿所述衬底，

第3连接孔从所述窗口层贯穿至所述n型层，

所述阴极焊盘经由所述第1连接孔与所述n型层电连接，

所述阳极焊盘经由所述第2连接孔以及所述第3连接孔与所述阳极电极电连接，

在所述背面具有受光区域。

2.根据权利要求1所述的背面入射型受光元件，其特征在于，

从所述窗口层至所述n型层受到蚀刻，通过半绝缘性层填埋，

所述第3连接孔形成于所述半绝缘性层。

3.根据权利要求1所述的背面入射型受光元件，其特征在于，

还具备蚀刻阻挡层，该蚀刻阻挡层插入至所述n型层和所述倍增层之间。

4.根据权利要求2所述的背面入射型受光元件，其特征在于，

还具备蚀刻阻挡层，该蚀刻阻挡层插入至所述n型层和所述倍增层之间。

5.根据权利要求1所述的背面入射型受光元件，其特征在于，

所述第2连接孔以及所述第3连接孔连续地从所述衬底贯穿至所述窗口层。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的背面入射型受光元件，其特征在于，

还具备绝缘膜，该绝缘膜形成于所述衬底与所述阳极焊盘、所述阴极焊盘之间，

所述衬底是导电性衬底。

7.一种光模块，其特征在于，具备：

载体；

权利要求1～6中任一项所述的背面入射型受光元件，其以所述受光区域朝上的方式固定于所述载体之上；

第1电路部件及第2电路部件；

第1导线，其将所述阴极焊盘与第1电路部件连接；以及

第2导线，其将所述阳极焊盘与第2电路部件连接。