[发明专利]气体传感器

权利要求书

1.一种气体传感器，其包含

-支撑结构，其包含腔室(6)，

-传感元件(1)，其对于气体是敏感的，并且布置在该腔室(6)中，和

-过滤器(3)，其跨过该腔室，

-其中该过滤器(3)是尺寸选择性过滤器(3)，其中该尺寸选择性过滤器(3)过滤了符合它们的尺寸的气体分子,

-用于该过滤器(3)的载体(4)，该载体(4)和过滤器(3)的组合体(3，4)跨过该腔室(6)，

其中该载体材料中的大部分孔的尺寸超过该过滤器材料中大部分孔的尺寸；

其中该尺寸选择性过滤器(3)是传感元件(1)要检测的气体可透过的，并且是一种或多种其他气体不可透过的，其中该过滤器(3)的尺寸选择性效应由过滤器材料中的孔尺寸决定。

2.一种气体传感器，其包含

-支撑结构，其包含腔室(6)，

-传感元件(1)，其对于气体是敏感的，并且布置在该腔室(6)中，和

-过滤器(3)，其跨过该腔室，

-其中该过滤器(3)是尺寸选择性过滤器(3)，其中该尺寸选择性过滤器(3)过滤了符合它们的尺寸的气体分子,

-用于该过滤器(3)的载体(4)，该载体(4)和过滤器(3)的组合体(3，4)跨过该腔室(6)，

其中载体(4)的平均厚度小于1mm；

其中该尺寸选择性过滤器(3)是传感元件(1)要检测的气体可透过的，并且是一种或多种其他气体不可透过的，其中该过滤器(3)的尺寸选择性效应由过滤器材料中的孔尺寸决定。

3.一种气体传感器，其包含

-支撑结构，其包含腔室(6)，

-传感元件(1)，其对于气体是敏感的，并且布置在该腔室(6)中，和

-过滤器(3)，其跨过该腔室，

-其中该过滤器(3)是尺寸选择性过滤器(3)，其中该尺寸选择性过滤器(3)过滤了符合它们的尺寸的气体分子,

-用于该过滤器(3)的载体(4)，该载体(4)和过滤器(3)的组合体(3，4)跨过该腔室(6)，

其中该支撑结构包含

-半导体芯片(2)，其负载着传感元件(1)，

-包封件(21)，其至少部分地包封该半导体芯片(2)，

其中该包封件(21)用于形成腔室(6)，

其中该包封件(21)的顶表面被组合体(3，4)完全覆盖，由此跨过该腔室(6)，

其中一种或多种顶部元件(9)布置在组合体(3，4)的顶表面上和边缘处，

其中该一种或多种顶部元件(9)表现出表面粗糙度超过组合体(3，4)的顶表面的表面粗糙度；

其中该尺寸选择性过滤器(3)是传感元件(1)要检测的气体可透过的，并且是一种或多种其他气体不可透过的，其中该过滤器(3)的尺寸选择性效应由过滤器材料中的孔尺寸决定。

4.权利要求1-3任一项的气体传感器，其中该过滤器材料中的孔尺寸是根据要检测的气体分子的尺寸来尺寸化的，或

其中将该过滤器材料中大部分孔的尺寸进行尺寸化，来使得要检测的气体分子通过，并且阻挡一种或多种其他气体的分子，或

其中将该过滤器材料中的大部分孔的尺寸尺寸化为超过要检测到的气体分子的尺寸，并且尺寸化为小于要阻挡的一种或多种其他气体的分子尺寸，或

其中该过滤器材料中大部分孔的尺寸是1nm或者更小。

5.权利要求1-3任一项的气体传感器，其中该过滤器材料包含含氟聚合物。

6.权利要求5的气体传感器，其中该过滤器材料由含氟聚合物组成。

7.权利要求5的气体传感器，其中该过滤器材料包含自由体积分数是至少19％的无定形含氟聚合物。

8.权利要求7的气体传感器，其中该过滤器材料包含自由体积分数是20％-40％的无定形含氟聚合物。

9.权利要求5的气体传感器，其中该过滤器材料包含均聚物。