[发明专利]用于衬底的接合的装置和方法

权利要求书

1.一种用于使第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在所述衬底(4o,4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合的方法，所述方法带有如下步骤、尤其如下流程：

- 将所述第一衬底(4o)容纳在第一容纳设备(1,1',1'',1''',1^IV,1^V,1^VI)的第一容纳面(1s,1s',1s'',1s''')处，并且将所述第二衬底(4u)容纳在第二容纳设备(1,1',1'',1''',1^IV,1^V,1^VI)的第二容纳面(1s,1s',1s'',1s''')处，

- 在所述接触面(4k)的接触之前使所述接触面(4k)弯曲，

其特征在于，

所述第一衬底(4o)的接触面(4k)的弯曲变化和/或所述第二衬底(4u)的接触面(4k)的弯曲变化在接合期间受控制。

2.根据权利要求1所述的方法，在其中，在所述接触面(4k)的接触之前，相对于所述接触面(4k)镜像对称地和/或同心地调整和/或控制所述弯曲和/或弯曲变化。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，在其中，所述弯曲和/或弯曲变化中的至少一个通过尤其机械的弯曲器件(5')、尤其销栓来实现。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，在其中，所述弯曲和/或弯曲变化中的至少一个通过流体压力加载借助于尤其直接地加载所述衬底的流体来调整和/或控制。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，在其中，所述第一衬底(4o)和/或所述第二衬底(4u)通过尤其环形地、优选地圆环形地在所述容纳面(1s,1s',1s'',1s''')的周缘处、尤其仅仅在所述衬底(4o,4u)的侧边缘(4os,4us)的区域中布置的固定器件来固定。

6.根据权利要求5所述的方法，在其中，所述固定器件具有尤其在所述容纳面(1s,1s',1s'',1s''')处均匀地分布地、优选地同心地布置的、划分成区的、尤其可单独地控制的固定元件(2)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，在其中，所述第一容纳面(1s,1s',1s'',1s''')和/或所述第二容纳面(1s,1s',1s'',1s''')由尤其形成所述第一容纳面(1s,1s',1s'',1s''')的第一容纳平面和所述第二容纳面(1s,1s',1s'',1s''')的第二容纳平面的突起部(7,7',7'',7''',7'''')形成。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，在其中，所述弯曲和/或弯曲变化通过尤其沿着所述第一容纳面和/或第二容纳面(1s,1s',1s'',1s''')布置的弯曲测量器件、尤其传感器(3)、优选地间距传感器探测。

9.一种装置，用于使第一衬底(4o)与第二衬底(4u)在所述衬底(4o,4u)的面向彼此的接触面(4k)处接合，所述装置带有：

- 第一容纳设备(1,1',1'',1''',1^IV,1^V,1^VI)，用于将所述第一衬底(4o)容纳在第一容纳面(1s,1s',1'',1s''')处，以及第二容纳设备(1,1',1'',1''',1^IV,1^V,1^VI)，用于将所述第二衬底(4u)容纳在第二容纳面(1s,1s',1s'',1s''')处，

- 弯曲器件，用于使所述接触面(4k)在所述接触面(4k)的接触之前弯曲，

其特征在于，

用于所述第一衬底(4o)的弯曲变化和/或用于所述第二衬底(4u)的弯曲变化的弯曲变化器件可以在接合期间受控制。