[发明专利]三(乙硅烷基)胺有效
| 申请号： | 201680070868.6 | 申请日： | 2016-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN108431012B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | B·D·瑞肯;X·周;B·K·黄;B·凯托拉 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/02 | 分类号： | C07F7/02;C07F7/20;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉;陈哲锋 |
| 地址： | 215126 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于制备三(乙硅烷基)胺的方法，所述方法包括以下步骤：
(a)使乙硅烷基(烷基)胺与氨接触以制备二(乙硅烷基)胺；以及(b)在70-280℃的温度下加热二(乙硅烷基)胺以制备三(乙硅烷基)胺和氨。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述乙硅烷基(烷基)胺具有下式：
(Si2H5)NR1R2，其中R1和R2独立地为氢或烷基，前提条件是R1和R2中的至少一个为烷基。
3.根据权利要求2所述的方法，其中R1和R2独立地为C1-C8烷基。
4.根据权利要求3所述的方法，其中二(乙硅烷基)胺在70℃至200℃的温度下加热。
5.根据权利要求4所述的方法，其中R1和R2相同并且表示C2-C6烷基。
6.一种用于制备三(乙硅烷基)胺的方法，所述方法包括在70-280℃的温度下加热二(乙硅烷基)胺以制备三(乙硅烷基)胺和氨。
7.根据权利要求6所述的方法，其中二(乙硅烷基)胺在70℃至200℃的温度下加热。
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