[发明专利]银合金铜线

说明书

本发明涉及一种包含线芯的银合金铜线，所述线芯自身由以下组成：(a)含量在0.3wt.‑％到0.7wt.‑％的银，(b)含量在99.25wt.‑％到99.7wt.‑％范围内的铜，以及(c)0wt.‑ppm到500wt.‑ppm的另外组分，其中所有以wt.‑％和wt.‑ppm计的量是基于所述芯的总重量计。

本发明涉及一种包含芯8μm到80μm厚的银合金铜线，所述芯包含特定重量比的铜与银。本发明进一步涉及用于制造所述线的方法。

键合线在电子和微电子应用中的用途是熟知的现有技术。尽管一开始键合线是由金制得，但如今使用较便宜的材料，如铜、铜合金、银和银合金。

关于线几何结构，最常见的是圆形横截面的键合线和具有近乎矩形横截面的键合带。两种类型的线几何结构均具有使其适用于特定应用的优势。

本发明的一个目标是提供适合用于线键合应用的银合金铜线，所述银合金铜线尤其在耐腐蚀性和键合性能方面有所改进，并且还显示整体均衡的性质范围，所述性质与线键合应用相关，包括(例如)极佳的可靠性性能、符合超细间距要求的改进的键合球形状、改进的第2键合窗、改进的回路性能、延长的车间寿命(floor life)等。

上述目标的解决方案的贡献由独立权利要求的主题提供。独立权利要求的从属权利要求呈现本发明的优选实施例，其主题也对解决上文提及的目标作出贡献。

在第一方面中，本发明涉及一种银合金铜线，其包含线芯或甚至由线芯组成(下文也简称为“芯”)，线芯自身由以下组成：

(a)含量在0.3wt.-％(重量-％，重量％)到0.7wt.-％范围内的银、优选0.5wt.-％的银，

(b)含量在99.25wt.-％到99.7wt.-％范围内的铜、优选99.45wt.-％到99.5wt.-％范围内的铜、或甚至更优选地99.49wt.-％到99.5wt.-％范围内的铜，以及

(c)0wt.-ppm(重量-ppm，重量ppm)到500wt.-ppm的另外组分、优选0wt.-ppm到100wt.-ppm的另外组分(除银和铜以外的组分)，

其中所有以wt.-％和wt.-ppm计的量是基于所述芯的总重量计。

下表汇编银合金铜线芯的组成的各种实施例：