[发明专利]电子部件的制造方法、暂时固定用树脂组合物、暂时固定用树脂膜及暂时固定用树脂膜片材有效
| 申请号： | 201680068718.1 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN108292590B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 牧野龙也;祖父江省吾;德安孝宽;石井学 | 申请（专利权）人： | 昭和电工材料株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/304;H01L21/683 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 部件 制造 方法 暂时 固定 树脂 组合 膜片 | ||
1.一种电子部件的制造方法，其具备以下工序：
通过膜状的暂时固定材料将成为构成电子部件的构件的被加工体暂时固定在支撑体上的工序；
对暂时固定在所述支撑体上的所述被加工体进行加工的工序；以及
将经加工的所述被加工体从所述支撑体及所述膜状的暂时固定材料上分离的分离工序，
其中，所述膜状的暂时固定材料含有(A)反应性官能团非不均性(甲基)丙烯酸共聚物，
所述(A)反应性官能团非不均性(甲基)丙烯酸共聚物含有下述单体作为共聚物成分：
(a-1)均聚物的玻璃化转变温度为50℃以上的(甲基)丙烯酸单体；
(a-2)均聚物的玻璃化转变温度为0℃以下的(甲基)丙烯酸单体；以及
(a-3)具有反应性官能团的(甲基)丙烯酸单体。
2.根据权利要求1所述的电子部件的制造方法，其中，通过将含有(A)反应性官能团非不均性(甲基)丙烯酸共聚物的暂时固定用树脂膜层压在被加工体或支撑体上来设置所述膜状的暂时固定材料。
3.根据权利要求1所述的电子部件的制造方法，其中，所述(a-2)均聚物的玻璃化转变温度为0℃以下的(甲基)丙烯酸单体是具有碳数为6～20的烷基的(甲基)丙烯酸单体。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的电子部件的制造方法，其中，所述反应性官能团为环氧基。
5.根据权利要求4所述的电子部件的制造方法，其中，所述膜状的暂时固定材料进一步含有(B)环氧固化剂。
6.根据权利要求5所述的电子部件的制造方法，其中，所述(B)环氧固化剂为咪唑系固化剂。
7.根据权利要求1～3中任一项所述的电子部件的制造方法，其中，所述膜状的暂时固定材料进一步含有(C)有机硅化合物。
8.根据权利要求7所述的电子部件的制造方法，其中，所述(C)有机硅化合物为有机硅改性醇酸树脂。
9.根据权利要求1～3中任一项所述的电子部件的制造方法，其中，所述膜状的暂时固定材料由2个以上的层形成，至少与所述被加工体接触的层含有所述(A)反应性官能团非不均性(甲基)丙烯酸共聚物。
10.一种电子部件的制造方法，其具备以下工序：
通过膜状的暂时固定材料将成为构成电子部件的构件的被加工体暂时固定在支撑体上的工序；
对暂时固定在所述支撑体上的所述被加工体进行加工的工序；以及
将经加工的所述被加工体从所述支撑体及所述膜状的暂时固定材料上分离的分离工序，
其中，所述膜状的暂时固定材料含有：
(i)将含有(a-1)均聚物的玻璃化转变温度为50℃以上的(甲基)丙烯酸单体、(a-2)均聚物的玻璃化转变温度为0℃以下的(甲基)丙烯酸单体及(a-3)具有反应性官能团的(甲基)丙烯酸单体的聚合性组合物进行活性自由基聚合而获得的(甲基)丙烯酸共聚物(i)；或者
(ii)一边在含有(a-1)均聚物的玻璃化转变温度为50℃以上的(甲基)丙烯酸单体及(a-2)均聚物的玻璃化转变温度为0℃以下的(甲基)丙烯酸单体的聚合性组合物中添加(a-3)具有反应性官能团的(甲基)丙烯酸单体、一边进行聚合而获得的(甲基)丙烯酸共聚物(ii)。
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