[发明专利]高度检测装置及搭载该高度检测装置的涂敷装置

权利要求书

1.一种高度检测装置，用于检测目标对象的高度，其特征在于，包括：

光源，该光源射出白光；

双光束干涉物镜，该双光束干涉物镜将由所述光源射出的白光分成双光束，将一个光束照射到所述目标对象并将另一个光束照射到参照面，使来自所述目标对象的反射光与来自所述参照面的反射光发生干涉，从而获得干涉光；

成像设备，该成像设备对由所述双光束干涉物镜获得的干涉光的图像进行拍摄；

Z载台，该Z载台使所述双光束干涉物镜相对于所述目标对象在光轴方向上移动；以及

控制设备，该控制设备控制所述光源、所述成像设备、所述Z载台来获得所述目标对象的高度，

所述控制设备

一边相对于所述目标对象在所述光轴方向上移动所述双光束干涉物镜，一边根据所述Z载台的位置使所述白光的亮度依次在第一至第K等级中变化，并拍摄所述干涉光的图像，

针对所拍摄到的图像的各个像素，检测在所述白光的亮度被设定为第k等级的期间中所述干涉光的强度成为最大的所述Z载台的位置，以作为焦点位置，

基于该检测结果来获得所述目标对象的高度，K为等于或大于2的整数，k是1到K的任意整数。

2.如权利要求1所述的高度检测装置，其特征在于，所述控制设备检测在所述白光的亮度被设定为所述第k等级的期间中与表示所述Z载台的位置与所述干涉光的强度之间的关系的曲线的包络线的重心对应的所述干涉光的强度，以作为最大强度，并将与检测到的最大强度对应的所述Z载台的位置设定作为所述焦点位置。

3.如权利要求1或2所述的高度检测装置，其特征在于，控制设备分别在图像中设定与所述第一至第K等级对应的第一至第K处理区域，针对各个处理区域检测所述焦点位置的顶点或平均值的至少一个，并基于检测结果来检测所述目标对象的高度。

4.如权利要求1或2所述的高度检测装置，其特征在于，

所述控制设备被配置成执行如下步骤：

第一步骤，在第一步骤中生成第一指令值序列与第二指令值序列，该第一指令值序列用于指示所述Z载台的位置，使得所述Z载台以固定速度移动，该第二指令值序列用于指示所述白光的亮度，以使所述白光的亮度根据所述Z载台的位置依次在所述第一至第K等级中变化；

第二步骤，该第二步骤中加载一边基于所述第一指令值序列与所述第二指令值序列来控制所述Z载台的位置与所述白光的亮度一边由所述成像设备以固定周期拍摄的图像，并且获得在所述白光的亮度被设定为所述第k等级的期间中像素的亮度成为最大的图像的编号；

第三步骤，该第三步骤中，针对图像的各个像素，利用所述图像的编号与加载的所述图像的亮度获得表示所述Z载台的位置与所述干涉光的强度之间的关系的曲线的包络线，检测所述包络线成为最大的图像的编号，并检测通过转换所获得的图像的所述编号而得到的所述Z载台的位置，以作为焦点位置；以及

第四步骤，该第四步骤中，基于针对所述图像的各个像素而获得的所述焦点位置来获得所述目标对象的高度。

5.如权利要求4所述的高度检测装置，其特征在于，在所述第二步骤中，在各个固定周期中，通过获得本次加载的图像的像素的亮度与上一次加载的图像的像素的亮度之差等于或大于规定的阈值且成为最大的图像的编号，从而获得在所述白光的亮度被设定为所述第k等级的期间中像素的亮度成为最大的图像的编号。

6.如权利要求4所述的高度检测装置，其特征在于，在所述第三步骤中，获得与所述包络线的重心对应的图像的编号，并检测通过转换所获得的所述图像的编号而得到的所述Z载台的位置，以作为焦点位置。

7.如权利要求4所述的高度检测装置，其特征在于，在所述第四步骤中，分别在图像中设定与所述第一至第K等级对应的第一至第K处理区域，针对各个处理区域检测所述焦点位置的顶点或平均值的至少一个，并基于检测结果来检测所述目标对象的高度。