[发明专利]亲水性多层膜及其制造方法和摄像系统

权利要求书

1.一种亲水性多层膜，其设置于基板的表面，所述亲水性多层膜具有：多层膜层，从所述基板侧依次分别层叠有至少1层以上折射率不同的至少两种层；及亲水性薄膜层，设置于所述多层膜层的表面，

所述多层膜层具有1层以上的光催化剂层，所述光催化剂层中的1层与所述亲水性薄膜层相邻设置，

所述亲水性薄膜层为具有在所述亲水性多层膜的表面与所述光催化剂层的相邻的表面之间延伸的间隙的柱状结构，

所述多层膜层中所包含的1层以上的所述光催化剂层具有包含相对于厚度方向具有倾斜度的间隙的倾斜柱状结构。

2.根据权利要求1所述的亲水性多层膜，其中，

所述亲水性薄膜层具有所述倾斜柱状结构。

3.根据权利要求1或2所述的亲水性多层膜，其中，

所述倾斜的角度为相对于与所述基板平行的面10度～85度范围的值。

4.根据权利要求1或2的亲水性多层膜，其中，

具有所述倾斜柱状结构的所述光催化剂层的所述亲水性多层膜的表面侧的面具有凹凸形状。

5.根据权利要求1或2所述的亲水性多层膜，其中，

所述亲水性薄膜层由氧化硅构成，所述光催化剂层由氧化钛构成。

6.根据权利要求5所述的亲水性多层膜，其中，

在所述多层膜层中，由氧化钛构成的层和由氧化硅构成的层交替层叠。

7.根据权利要求1或2所述的亲水性多层膜，其中，

所述亲水性多层膜具有防反射膜、反射膜、半反射镜膜及带通滤光器膜中的任一个的光学功能。

8.一种摄像系统，其在与外部气体接触的面上，具有作为防反射膜的权利要求7所述的亲水性多层膜。

9.一种亲水性多层膜的制造方法，所述亲水性多层膜在基板表面具有：多层膜层，从所述基板侧依次分别层叠有至少1层以上折射率不同的至少两种层；及亲水性薄膜层，设置于所述多层膜层的表面，

所述多层膜层具有1层以上的光催化剂层，所述光催化剂层中的1层与所述亲水性薄膜层相邻设置，其中，

将所述多层膜层中所包含的1层以上的所述光催化剂层通过倾斜蒸镀而形成。