[发明专利]磁控溅射阴极系统有效
| 申请号： | 201680042990.2 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN107995932B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王三军 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518052 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 阴极 系统 | ||
1.一种磁控溅射阴极系统，其特征在于包括：
环形靶材；和
转动设置在所述环形靶材内的磁性组件，所述磁性组件的磁场线穿过所述环形靶材；
所述磁性组件包括磁性部件，所述磁性部件包括沿所述环形靶材的轴向堆叠的多个E型磁性元件或U型磁铁元件。
2.如权利要求1所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述环形靶材呈圆环状、方形环状或三角环状。
3.如权利要求2所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述磁性元件包括永磁元件和/或电磁元件。
4.如权利要求3所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述磁性元件包括多个电磁元件，所述电磁元件独立工作。
5.如权利要求1所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述磁性组件包括磁性部件和伸缩部件，所述磁性部件包括沿所述环形靶材的轴向堆叠的多个磁性元件，所述伸缩部件一端固定设置，另一端与所述磁性元件连接。
6.如权利要求5所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述伸缩部件包括推杆或气缸。
7.如权利要求1所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述磁性组件包括转轴和磁性部件，所述磁性部件与所述转轴轴承连接。
8.如权利要求7所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述磁性组件还包括连接所述转轴和所述磁性部件的伸缩部件。
9.如权利要求1所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述磁控溅射阴极系统还包括：
设置在所述环形靶材内的环形靶材背管，所述磁性组件设置在所述环形靶材背管内。
10.如权利要求1所述的磁控溅射阴极系统，其特征在于，所述环形靶材背管的材料包括无氧铜、金属钼、不锈钢或陶瓷。
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