[发明专利]用于小体积应用的固体产品分配器

权利要求书

1.一种产品分配器，其包括：

流体分布储器，其具有出口，所述出口被配置成用以分配在所述流体分布储器中形成的化学溶液；

多个流体供应入口，所述多个流体供应入口中的每个流体供应入口被配置成连接到加压流体源以将加压流体供应到所述流体分布储器；

平台，其位于所述流体分布储器中，所述平台被配置成用以保持固体产品并将所述固体产品暴露于所述加压流体；以及

固体产品储器，其位于所述流体分布储器中，所述固体产品储器被配置成包围安置于所述平台上的固体产品的一部分且由此使所述固体产品的所述部分被屏蔽而不与所述加压流体相接触；

其中，所述多个流体供应入口被安置成用以在所述固体产品储器的周界周围在所述流体分布储器与所述固体产品储器之间围绕所述周界分配加压流体，所述多个流体供应入口中的每个流体供应入口被配置成用以供应加压流体，所述加压流体流动通过所述固体产品储器且接触所述平台，致使所述加压流体对着所述固体产品重定向并且通过所述固体产品的冲蚀而形成化学溶液。

2.根据权利要求1所述的分配器，还包括至少一个压力控制装置，其被配置成用以控制输送通过所述多个流体供应入口的加压流体的流动特征。

3.根据权利要求2所述的分配器，其中，所述至少一个压力控制装置包括多个压力控制装置，每个压力控制装置被配置成用以控制输送通过所述多个流体供应入口中的相应流体供应入口的加压流体的流动特征。

4.根据权利要求2所述的分配器，其中，所述压力控制装置包括压力补偿流动调节器，其被配置成即使所述加压流体的压力改变也提供大致恒定流量的加压流体。

5.根据权利要求1所述的分配器，还包括加压流体供应歧管，所述加压流体供应歧管包含：被配置成连接到流体源的入口管线，被配置成用以将流体从所述入口管线输送到所述流体供应入口的供应管线，被配置成接收来自所述入口管线的流体并且将所述流体输送到下游分配器的出口管线，以及被配置成用以控制所述入口管线与所述供应管线之间的流体连通的阀。

6.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述流体分布储器包括从所述出口向外且沿竖向向上延伸的盆状槽。

7.根据权利要求6所述的分配器，其中，所述固体产品储器包括朝向所述出口沿竖向向下延伸且具有与所述平台相邻的开放端的环状件。

8.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述固体产品储器的几何中心与所述平台的几何中心共轴。

9.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述流体分布储器还包括安置于所述平台上方及所述流体供应入口下方的溢流出口。

10.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述平台具有顶部表面，所述顶部表面在所述固体产品放置在所述平台上时接触所述固体产品，所述固体产品储器具有底部边缘，且所述平台的所述顶部表面与所述固体产品储器的所述底部边缘沿竖向间隔开，使得所述固体产品被配置成在所述固体产品储器下方向下伸出。

11.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述平台包括多个短桩，相邻短桩之间具有间隔，使得所述加压流体流动通过所述间隔。

12.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述平台被配置成通过提供流动路径障碍来重定向加压流体的流动，所述流动路径障碍使得接触所述平台上的固体产品的加压流体形成湍流。

13.根据权利要求1所述的分配器，其中，所述流体分布储器的所述出口安置于所述平台下方。

14.根据权利要求1所述的分配器，还包括在所述出口下游的液滴捕集件。