[发明专利]一种蚀刻液再生与铜回收的装置及方法在审
| 申请号： | 201680035666.8 | 申请日： | 2016-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107849717A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金荣锡;林圣桓 | 申请（专利权）人： | 信铜有限公司;可爱化学科技有限公司 |
| 主分类号： | C25C3/34 | 分类号： | C25C3/34;C23F1/18;C25C7/02;C25C7/06;C25C7/00;G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,陈伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 再生 回收 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻液再生与铜回收的装置，包括：
执行蚀刻工艺的蚀刻槽；
填充在所述蚀刻槽内，并具有蚀刻力的蚀刻液；
配置在所述蚀刻槽内，以测定铜浓度的光传感器；
用于使在所述蚀刻槽中生成的废蚀刻液再生的电解镀铜槽；
配置在所述电解镀铜槽内的阴极电极与阳极电极；
连接所述阴极电极与所述阳极电极，从而接通电流的整流器；及
用于控制所述蚀刻槽与整流器的控制单元；
所述阳极电极使用在钛表面镀有包含铱的铂族氧化物的不溶性电极；
感知蚀刻液的铜浓度的光传感器，在铜浓度超过一定水平时，向控制单元发送信号。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液再生与铜回收的装置，其特征在于，
所述蚀刻液包含选自由过氧化氢(H2O2)与硫酸(H2SO4)、过二硫酸钠(Na2S2O8)与硫酸(H2SO4)、过二硫酸钾(K2S2O8)与硫酸(H2SO4)及过一硫酸氢钾(KHSO4)与硫酸(H2SO4)组成的组中的任意一种。
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