[发明专利]液体排出设备、压印设备和制造组件的方法

权利要求书

1.一种液体排出设备，包括：

头，其具有设置有第一排出口阵列和第二排出口阵列的排出口面，其中，所述第一排出口阵列具有被配置为排出液体并且沿第一方向配置的多个排出口，所述第二排出口阵列具有被配置为排出液体并且沿所述第一方向配置的多个排出口，以及所述第一排出口阵列和所述第二排出口阵列在与所述第一方向交叉的第二方向上相邻；

抽吸口，用于进行针对所述排出口面的抽吸操作；以及

移动单元，用于在所述抽吸口与所述排出口面间隔开的状态下，使所述抽吸口沿所述第二方向从所述第一排出口阵列侧向所述第二排出口阵列侧移动，

其特征在于，在沿所述第二方向观看时，所述第二排出口阵列的多个排出口中的各排出口和所述第一排出口阵列的多个排出口中的各排出口不重叠。

2.根据权利要求1所述的液体排出设备，其中，还包括：

第三排出口阵列，其具有多个排出口，并且在所述第二方向上与所述第二排出口阵列相邻；以及

第四排出口阵列，其具有多个排出口，并且在所述第二方向上与所述第三排出口阵列相邻，

其中，在沿所述第二方向观看时，所述第一排出口阵列的多个排出口中的各排出口、所述第二排出口阵列的多个排出口中的各排出口、所述第三排出口阵列的多个排出口中的各排出口和所述第四排出口阵列的多个排出口中的各排出口彼此不重叠。

3.根据权利要求1或2所述的液体排出设备，其中，所述抽吸口的长度大于各个排出口阵列的长度。

4.根据权利要求1所述的液体排出设备，其中，通过与所述第一排出口阵列的多个排出口中的各排出口相对的位置的所述抽吸口的部位和通过与所述第二排出口阵列的多个排出口中的各排出口相对的位置的所述抽吸口的部位彼此不同。

5.根据权利要求1所述的液体排出设备，其中，所述第二方向与所述第一方向正交。

6.根据权利要求1所述的液体排出设备，其中，所述第二方向相对于与所述第一方向正交的方向倾斜。

7.根据权利要求1所述的液体排出设备，其中，还包括吹出口，所述吹出口以向着所述排出口面倾斜的方式配置在所述抽吸口的在所述第二方向上的后方，并且向所述排出口面吹出气体。

8.根据权利要求7所述的液体排出设备，其中，还包括压力控制单元，所述压力控制单元用于控制所述抽吸口和所述吹出口其中之一中的压力。

9.一种压印设备，其特征在于，包括：

头，其具有设置有第一排出口阵列和第二排出口阵列的排出口面，其中，所述第一排出口阵列具有被配置为排出液体并且沿第一方向配置的多个排出口，所述第二排出口阵列具有被配置为排出液体并且沿所述第一方向配置的多个排出口，所述第一排出口阵列和所述第二排出口阵列在与所述第一方向交叉的第二方向上相邻，以及在沿所述第二方向观看时，所述第二排出口阵列的多个排出口中的各排出口和所述第一排出口阵列的多个排出口中的各排出口不重叠；

抽吸口，用于进行针对所述排出口面的抽吸操作；

移动单元，用于在所述抽吸口与所述排出口面间隔开的状态下，使所述抽吸口沿所述第二方向从所述第一排出口阵列侧向所述第二排出口阵列侧移动；以及

图案形成单元，用于通过使基板的具有利用所述头所排出的液体的一个表面与模具的形成有凹凸图案的表面彼此抵接，来在所述基板的该一个表面上形成与所述模具的凹凸图案相对应的图案。

10.根据权利要求9所述的压印设备，其中，

所述液体具有光固化性，以及

所述图案形成单元具有光照射单元，所述光照射单元利用光来照射所述基板上形成的图案，以使该图案固化。

11.一种使用压印设备制造组件的方法，其特征在于，所述组件包括基板，所述压印设备包括：头，其具有设置有第一排出口阵列和第二排出口阵列的排出口面，其中，所述第一排出口阵列具有被配置为排出液体并且沿第一方向配置的多个排出口，所述第二排出口阵列具有被配置为排出液体并且沿所述第一方向配置的多个排出口，所述第一排出口阵列和所述第二排出口阵列在与所述第一方向交叉的第二方向上相邻，以及在沿所述第二方向观看时，所述第二排出口阵列的多个排出口中的各排出口和所述第一排出口阵列的多个排出口中的各排出口不重叠；以及抽吸口，

其中，所述方法包括：

通过在所述抽吸口与所述排出口面间隔开的状态下，使所述抽吸口沿所述第二方向从所述第一排出口阵列侧向所述第二排出口阵列侧移动，来进行针对所述排出口面的抽吸操作；

在所述抽吸操作之后，利用所述头向所述基板的表面施加液体；

通过使所述基板的具有所施加的液体的该表面与模具的形成有凹凸图案的表面彼此抵接，来在所述基板的该表面上形成与所述模具的凹凸图案相对应的图案；以及

对形成有该图案的基板进行处理。