[发明专利]空气冷却的二氧化碳激光器

权利要求书

1.激光器设备，包括：

细长的填充气体的谐振器单元；

用于在所述谐振器单元中激励气体的细长的射频(RF)供电单元，所述谐振器和供电单元对齐、间隔开并且彼此平行；

细长的冷却单元包括分隔所述供电和谐振器单元的多个细长的鳍部，所述鳍部彼此间隔开和平行，并且在所述供电和谐振器单元的长度方向上延伸，所述鳍部的相对端分别与所述谐振器单元和所述供电单元直接热接触；和

至少一个风扇，布置成在间隔开的鳍部之间驱动空气以冷却所述供电和谐振器单元。

2.权利要求1所述的设备，其中所述谐振器单元中的气体是包括二氧化碳的气体混合物。

3.权利要求1所述的设备，其中所述风扇被布置为使得空气在所述冷却单元中心附近被吸入所述冷却单元中，并从所述冷却单元的相对端排出。

4.权利要求3所述的设备，还包括和所述风扇对齐的通风区域，所述通风区域位于所述鳍部的位置，所述通风区域包括挡风板以引导空气流入所述鳍部之间的空间。

5.权利要求1所述的设备，其中所述风扇被布置为使得空气在所述冷却单元相对端被吸入所述冷却单元，并从所述冷却单元的中心排出。

6.权利要求1所述的设备，其中所述风扇被布置为使得空气在所述冷却单元的一端被吸入所述冷却单元，并从所述冷却单元的相对端排出所述冷却单元。

7.权利要求1所述的设备，其中所述供电单元包括装配在印刷电路板(PCB)上的RF电源，并且所述谐振器单元包括在其表面中具有至少一个波导-凹槽的陶瓷板，用于引导所述激光器的激光模式，并且其中所述PCB和所述陶瓷板与所述冷却单元热交流。

8.权利要求7所述的设备，其中所述陶瓷板的波导-凹槽的表面面向所述冷却单元。

9.激光器设备，包括：

细长的填充气体的谐振器单元；

用于在所述谐振器单元中激励气体的细长的射频(RF)供电单元，所述谐振器和供电单元对齐、间隔开并且彼此平行；

细长的冷却单元包括分隔所述供电和谐振器单元的多个细长的鳍部，所述鳍部彼此间隔开和平行，并且在所述供电和谐振器单元的长度方向上延伸；和

至少一个风扇，布置成在间隔开的鳍部之间驱动空气以冷却所述供电和谐振器单元，所述谐振器和供电单元均具有和所述冷却单元热交流的基底，其中RF电源安装在所述供电单元的基底上并且谐振器配件安装在谐振器单元的基底上，所述供电单元的基底具有第一厚度，并且所述谐振器单元的基底具有第二厚度，和其中所述第一和第二厚度被选择为使得激光器设备是热机械中性的。

10.权利要求9所述的设备，其中所述第一厚度小于所述第二厚度。

11.权利要求9所述的设备，其中所述谐振器单元中的气体是包括二氧化碳的气体混合物。

12.权利要求9所述的设备，其中所述风扇被布置为使得空气在其中心附近被吸入所述冷却单元中，并从所述冷却单元的相对端排出。

13.权利要求9所述的设备，其中所述风扇被布置为使得空气在所述冷却单元相对端被吸入所述冷却单元，并从所述冷却单元的中心排出。

14.权利要求9所述的设备，其中所述风扇被布置为使得空气在所述冷却单元的一端被吸入所述冷却单元，并从所述冷却单元的相对端排出所述冷却单元。

15.权利要求9所述的设备，其中所述RF电源装配在印刷电路板(PCB)上，并且所述谐振器单元包括在其表面中具有至少一个波导-凹槽的陶瓷板，用于引导所述激光器的激光模式，并且其中所述PCB和所述陶瓷板分别与所述谐振器单元的基底和所述供电单元的基底热交流。

16.权利要求15所述的设备，其中所述陶瓷板的波导-凹槽的表面面向所述冷却单元。

17.激光器设备，包括：

由单块铝形成的细长的外壳，所述外壳包括保持电极和激光气体的下室，所述下室通过激光镜在相对端被终止，所述外壳还包括保持用于激励电极的电源的上室，所述外壳还包括多个间隔开的加工的鳍部，所述鳍部在所述外壳的相对端之间延伸并且位于所述上室和下室之间并直接连接；

一对相对的通风区域，位于所述外壳的长度的中间和延伸到所述鳍部的区域的外壳的侧边缘上，所述通风区域包括用于引导空气流动到所述鳍部之间的挡风板；和

至少一个风扇，和所述通风区域对齐，用于驱动空气进入所述鳍部之间的空间并从所述外壳相对端出来。