[发明专利]光调制器及使用光调制器的光发送装置

说明书

在施加抖动信号的偏压电极与监控在光波导内传播的光信号的光检测器设置于同一基板上的光调制器中，提高通过该光检测器检测的抖动信号成分强度的检测精度，进行稳定的偏压控制。本光调制器具备：具有压电效应的基板(102)；形成在该基板上的光波导(116a等)；控制在该光波导中传播的光波的偏压电极(158a等)；及形成在所述基板上并监控在所述光波导中传播的光信号的光检测器(168a等)，在所述基板上的形成有所述偏压电极的区域与配置所述光检测器的部分之间，配置抑制从所述偏压电极向所述光检测器传播的声表面波的至少一个抑制单元(190等)。

技术领域

本发明涉及光调制器及使用光调制器的光发送装置，尤其是涉及将偏压电极和监控出射光的光检测器形成在同一基板上的光调制器、及使用这样的光调制器的光发送装置。

背景技术

在高速/大容量光纤通信系统中，多数使用装入了波导型的光调制器的光发送装置。其中，将具有电光效应的LiNbO₃(以下，也称为LN)用于基板的光调制器与使用了磷化铟(InP)、硅(Si)或者砷化镓(GaAs)等半导体系材料的调制器相比，能实现光的损失少且宽带的光调制特性，因此广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。

在该使用了LN的光调制器中，形成有马赫-曾德尔光波导、用于将作为调制信号的高频信号向光波导施加的RF电极部、为了良好地确保该光调制器的调制特性而用于进行各种调整的偏压电极。作为这样的偏压电极，存在例如为了补偿以环境的温度变化等为起因的偏压点的变动(所谓温度漂移现象)而用于向光波导施加电场的偏压电极、或用于进行光相位调整的偏压电极。

另一方面，关于光纤通信系统的调制方式，受到近年来的传送容量的增大化的趋势的影响，QPSK(Quadrature Phase Shift Keying(正交相移键控))或DP-QPSK(DualPolarization-Quadrature Phase Shift Keying(双偏振正交相移键控))等多值调制，或者在多值调制中取入了偏波多重的传送制式成为主流。

进行QPSK调制的光调制器(QPSK调制器)或进行DP-QPSK调制的光调制器(DP-QPSK调制器)具备嵌套式的多个马赫-曾德尔光波导，且具备多个高频信号电极及多个偏压电极(例如，参照专利文献1)，因此设备尺寸存在大型化的倾向，尤其是小型化的需求强烈。

以往，作为用于这样的小型化的技术，提出了提高各电极与光波导之间的相互作用，即便在长度短的电极中也能够降低驱动电压的方法。例如，已知有对于各波导，将偏压电极构成作为由推用电极和挽用电极构成的梳形电极(或编带状电极)，来降低应向偏压电极施加的电压(偏压)的结构(例如，参照专利文献2)。

图13是表示现有的DP-QPSK调制器的结构的一例的图。该DP-QPSK调制器1300例如由Z切割的LN基板1302上形成的嵌套式的马赫-曾德尔光波导(图示粗线的虚线)和电极(图示阴影部分)构成。在该光调制器中，来自激光二极管等光源(未图示)的光从图示右方向入射，调制后的光从图示左方向出射。出射的光例如通过空间光学系统而合波，向与光传送路相连的光纤入射。

光波导由接受来自图示右方向的入射光的入射波导1304、对于在该入射波导中传播的光进行分支的光分支部1306、对于在光分支部1306分支的各自的光进行调制的两个马赫-曾德尔光波导部1310a、1310b构成。

马赫-曾德尔光波导部1310a具有入射波导1312a、对于在该入射波导1312a中传播的光进行分支的光分支部1314a、使在光分支部1314a分支的各自的光传播的平行波导1316a、1318a、对于在该平行波导1316a、1318a中传播的光进行合波的合波部1320a、和使在该合波部1320a合波的光向外部出射的出射波导1322a。而且，马赫-曾德尔光波导部1310a具有在上述平行波导1316a及1318a的一部分上分别形成的马赫-曾德尔光波导1330a(图示虚线所示的矩形内的部分)、1332a(图示双点划线所示的矩形内的部分)。