[发明专利]工件固持加热设备有效
| 申请号： | 201680014843.4 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN107533997B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 孙大伟;D·杰弗里·里斯查尔;史蒂芬·M·恩尔拉;岱尔·K·史东;留德米拉·史东 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 加热 设备 | ||
1.一种工件固持加热设备，其特征在于，包括：
压板，其中所述压板包括顶表面、底表面以及在所述顶表面与所述底表面之间延伸的侧壁，其中所述侧壁包括平行于所述顶表面的第一水平环圈部分以及与所述顶表面形成锐角且从所述顶表面向下延伸到所述第一水平环圈部分的锥形部分，且所述第一水平环圈部分完全位于所述顶表面的下方；
主要加热元件；以及
第一边缘加热器，其安置于所述第一水平环圈部分上，
其中所述第一水平环圈部分的表面朝下而背对所述顶表面。
2.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述第一边缘加热器为环形。
3.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述侧壁还包括平行于所述顶表面的第二水平环圈部分，其中所述第二水平环圈部分比所述第一水平环圈部分更远离所述顶表面来安置，所述侧壁还包括安置于所述第二水平环圈部分上的第二边缘加热器。
4.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述侧壁还包括在所述第一水平环圈部分与所述底表面之间延伸的垂直部分。
5.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述第一边缘加热器包括薄膜。
6.根据权利要求1所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述压板包括陶瓷材料。
7.一种工件固持加热设备，其特征在于，包括：
压板，其中所述压板包括顶表面、底表面以及在所述顶表面与所述底表面之间延伸的锥形侧壁，且所述锥形侧壁与所述顶表面形成锐角，所述锥形侧壁完全位于所述顶表面的下方；
主要加热元件；以及
边缘加热器，其安置在所述压板中或贴附到所述压板，且所述边缘加热器平行于所述锥形侧壁安置。
8.根据权利要求7所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述边缘加热器安置于所述锥形侧壁上。
9.根据权利要求7所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述边缘加热器嵌入于所述压板中。
10.根据权利要求7所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述边缘加热器为截头圆锥形。
11.根据权利要求7所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述边缘加热器包括薄膜。
12.根据权利要求7所述的工件固持加热设备，其特征在于，所述压板包括陶瓷材料。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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