[实用新型]一种用于半导体基板外观检查的载具

权利要求书

1.一种用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，该载具包括第一挡板、第二挡板和第三挡板，所述第二挡板和第三挡板对称的安装在所述第一挡板的两侧，所述第二挡板和第三挡板均与所述第一挡板相垂直，所述第一挡板和第二挡板的内侧分别设置有相互对应且平行的横向导轨。

2.根据权利要求1所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，所述的第二挡板或第三挡板的前侧边缘处铰接有档条。

3.根据权利要求2所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，所述的档条包括横条和竖条，所述的横条和竖条在一端连接形成L形结构，所述横条与所述第二挡板或第三挡板的前侧边缘处铰接。

4.根据权利要求1～3任一所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，该载具还包括上天窗板，所述的上天窗板与第二挡板或第三挡板上侧边缘处铰接。

5.根据权利要求1～3任一所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，该载具还包括下天窗板，所述的下天窗板与第二挡板或第三挡板下侧边缘处铰接。

6.根据权利要求4所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，所述的上天窗板与第二挡板或第三挡板上侧边缘处的铰接方式为：通过合页分别固定连接所述上天窗板的上侧和所述第二挡板或第三挡板上侧边缘处。

7.根据权利要求5所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，所述的下天窗板与第二挡板或第三挡板上侧边缘处的铰接方式为：通过合页分别固定连接所述下天窗板的下侧和所述第二挡板或第三挡板下侧边缘处。

8.根据权利要求3所述的用于半导体基板外观检查的载具，其特征是，在所述第二挡板或第三挡板的内壁与所述横条之间连接一铰链。