[实用新型]纳米尺度气体流动规律实验系统

权利要求书

1.纳米尺度气体流动规律实验系统，其特征在于：包括置于恒温箱内的夹持器、压力控制系统、抽真空系统、压力压差测量系统、稳压系统、流量测量系统和数据采集控制系统；

所述夹持器包括左罐体和右罐体，左罐体的右端沿径向凸起设有左连接盘，右罐体的右端沿径向凸起设有右连接盘，左连接盘和右连接盘通过螺栓可拆卸压接在一起；左连接盘的右端面上开设有左卡槽，右连接盘的左端面上开设有右卡槽，左卡槽和右卡槽相对应并组成孔板卡槽；孔板卡槽内卡接有孔板结构；

孔板结构包括卡接配合的左孔板和右孔板，左孔板和右孔板的径向外端部卡接在孔板卡槽内，左孔板和右孔板的中部对应开设有气孔，左孔板上的气孔和右孔板上的气孔对应连通并左右贯通左孔板和右孔板；左孔板和右孔板之间压接有由阳极氧化铝薄膜制成的圆形试样；孔板结构将夹持器的内腔分为左腔体和右腔体；

所述压力控制系统包括入口压力控制单元和出口压力控制单元；入口压力控制单元包括用于储存天然气的高压气瓶、减压阀、入口压力表和入口调速阀；以气流方向为前向，高压气瓶的出口通过管路由后向前依次连接所述减压阀、入口压力表和入口调速阀；

出口压力控制单元包括由后向前依次通过管路相连接的压力真空表、出口调速阀和第一手动阀；

抽真空系统包括真空泵，真空泵的吸入口连接有抽真空管路，抽真空管路上设有第二手动阀；

压力压差测量系统包括精密压力传感器和压差传感器，压差传感器的一端通过测量管与所述左腔体相连通，压差传感器的另一端通过测量管与所述右腔体相连通；

流量测量系统包括并联连接的第一支路、第二支路和第三支路；第一支路上串联连接有第一电磁阀和量程为0~100SCCM的第一质量流量计，第二支路上串联连接有第二电磁阀和量程为0~500SCCM的第二质量流量计，第三支路上串联连接有第三电磁阀和量程为0~5000SCCM的第三质量流量计；

稳压系统包括压力缓冲罐和稳压容器，压力缓冲罐通过连通管连接稳压容器，稳压容器连接有用于排空负压的第四电磁阀，压力缓冲罐上设有第一压力传感器和温度传感器；

数据采集控制系统包括计算机和与计算机相连接的信号线路；

所述夹持器的左腔体连通有进气管，进气管连接所述入口调速阀，进气管上串联连接有第一三通阀，第一三通阀的第三个接口连接所述精密压力传感器，所述精密压力传感器、压差传感器、第一至第四电磁阀、第一至第三质量流量计、第一压力传感器和温度传感器分别通过所述信号线路连接所述计算机；

所述夹持器的右腔体连通有出气管，出气管连接所述出口压力控制单元的压力真空表；所述出气管上设有第二三通阀，第二三通阀的第三个接口连接所述抽真空管路；

所述流量测量系统与出口压力控制单元之间设有第一四通阀，所述流量测量系统的气体流出端设有第二四通阀；

以气流方向为前向，所述第一支路、第二支路和第三支路的后端分别连接所述第一四通阀的一个接口，第一四通阀的第四个接口连接所述出口压力控制单元的管路的前端；

所述第一支路、第二支路和第三支路的前端分别连接所述第二四通阀的一个接口，第二四通阀的第四个接口连接有第三三通阀，第三三通阀的另外两个接口分别连接排空管和稳压进气管，排空管上设有第三手动阀；稳压进气管连接所述压力缓冲罐，稳压进气管上设有第四手动阀。

2.根据权利要求1所述的纳米尺度气体流动规律实验系统，其特征在于：所述左孔板和右孔板的径向外端部之间通过螺栓压接在一起；所述左孔板的中部向右凸起设有卡台，所述右孔板的中部设有与所述卡台相适配的凹槽，卡台卡入所述凹槽，且所述试样压接在卡台与凹槽的槽底之间。

3.根据权利要求1或2所述的纳米尺度气体流动规律实验系统，其特征在于：所述连通管上设有第五手动阀；压力缓冲罐容积大于等于5升，稳压容器的容积大于等于15升。

4.根据权利要求2所述的纳米尺度气体流动规律实验系统，其特征在于：所述卡台径向外侧的左孔板的左侧表面开设有环形的左密封槽，左密封槽与左连接盘围成的环形空间内压设有左密封圈；

所述凹槽径向外侧的右孔板的左侧表面设有中间密封槽，左孔板与中间密封槽围成的环形空间内压设有中间密封圈；

所述凹槽径向外侧的右孔板的右侧表面设有右密封槽，右连接盘与中间密封槽围成的环形空间内压设有右密封圈。