[实用新型]热气泡式喷墨打印头

权利要求书

1.一种热气泡式喷墨打印头，其特征在于，包括衬底和键合在衬底上的盖片，所述衬底与盖片之间围设形成有用以存储墨液的墨腔，所述衬底上贯通形成有与所述墨腔联通的供墨通道，所述盖片上贯通形成有与所述墨腔联通的喷嘴，所述衬底上设置有给所述墨腔内的墨液加热的加热元件，所述热气泡式喷墨打印头还包括与所述加热元件电性连接的驱动电路和与所述加热元件、驱动电路电性连接的金属电极。

2.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述衬底上设置有散热层，所述散热层贴靠在所述加热元件周边，且至少位于所述墨腔的一侧。

3.如权利要求2所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述散热层包括SiN薄膜层和钽层。

4.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述盖片具有相背设置的底面和顶面，所述底面朝向衬底，所述盖片自其底面向上内凹形成有上腔体，所述衬底将所述上腔体密封以形成所述墨腔；或者，所述衬底具有相背设置的第一表面和第二表面，所述第一表面朝向盖片，所述衬底自其第一表面向下凹陷形成有下腔体，所述盖片将所述下腔体密封以形成所述墨腔；或者，所述盖片具有相背设置的底面和顶面，所述底面朝向衬底，所述盖片自其底面向上内凹形成有上腔体，所述衬底具有相背设置的第一表面和第二表面，所述第一表面朝向盖片，所述衬底自其第一表面向下凹陷形成有下腔体，所述墨腔由所述上腔体和下腔体拼合而成。

5.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述供墨通道呈滤网结构。

6.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述衬底由绝缘材料所制成，包括但不仅限于硅；所述盖片由绝缘材料所制成，包括但不仅限于硅。

7.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述盖片具有相背设置的底面和顶面，所述底面朝向衬底，所述盖片的顶面淀积有疏水层。

8.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述墨腔的深度为10～100微米，宽度为50～150微米。

9.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述喷嘴的高度为10～50微米，宽度为10～50微米。

10.如权利要求1所述的热气泡式喷墨打印头，其特征在于，所述金属电极和驱动电路设置在所述衬底上。