[实用新型]一种扫描电镜用平面样品制样装置有效

专利信息
申请号: 201621287381.7 申请日: 2016-11-29
公开(公告)号: CN206192736U 公开(公告)日: 2017-05-24
发明(设计)人: 姚强;朱宇宏;王燕;路通;王琼 申请(专利权)人: 江苏省产品质量监督检验研究院
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司32218 代理人: 陆海天,夏平
地址: 210007*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 扫描电镜 平面 样品 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种理化试验装置,尤其是是一种用于制备扫描电镜用的平面样品的装置,具体的说是一种扫描电镜用平面样品制样装置。

背景技术

根据现行国家标准方法,在利用扫描电镜进行长度测量时,要求标准样品和被测样品必须同时且同高度的安装在扫描电镜的样品台上。当被测量面在长度方向保持水平时,可忽略其倾斜引起的不确定度,因此,应尽量使标准样品和被测样品的长度方向接近平行且等高。目前,常用的方法是先后将标准样品和被测样品分别放置于金相显微镜下进行调节,使两者平行且等高。但是,这种方法操作复杂,步骤繁琐,严重影响测试效率。因此,急需设计一种操作简单,能够快捷的调节标准样品和被测样品的工作面等高且水平的装置,满足测试工作的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足,提供一种扫描电镜用平面样品制样装置,能够快速而准确的制备样品,提高了效率和样品质量,确保扫描电镜检测的顺利进行。

本实用新型的技术方案是:

一种扫描电镜用平面样品制样装置,包括底座,所述底座上设有样品台;该样品台上设有两个相同的样品座;每个样品座包括均为矩形且相互分离的底板和面板;所述底板通过立杆与所述样品台相连;所述面板的四角分别设有与底板相连的弹簧;所述底板上设有四根正对所述面板四边中点处的顶杆,该顶杆能够上下移动而顶推面板的边缘部上下移动;所述底座上设有能够移动的测距装置,能够分别测量放置于两个样品座上的试样的距离。

进一步的,所述样品台底面上设有连接头,该连接头上设有开口向下的燕尾槽;所述底座上设有立柱,该立柱的上端设有与所述连接头相配合的燕尾头,使所述连接头能够活动的与所述立柱相契合,进而使所述样品台安装到所述底座上。

进一步的,所述顶杆为直杆状,下部设有螺纹,所述底板上设有与所述顶杆对应的通孔;该通孔的下方设有与所述底板固定连接的螺母,使所述顶杆能够穿过所述通孔并与所述螺母相旋接。

进一步的,所述顶杆的下端设有手轮,方便旋转所述顶杆;所述顶杆的上端为半球形,并在所述面板的底面上设有球形凹槽,使所述顶杆上端能够稳妥的放置于该凹槽内。

进一步的,所述底座上设有正跨在所述样品座上方的门形框架,该框架顶部的横梁上设有滑轨;所述测距装置安装在该滑轨上,并能够沿该滑轨移动。

进一步的,所述测距装置为三台激光测距仪,能够同时测量三个位置的距离。

进一步的,所述立杆的下端通过锥形齿轮与所述样品台相连接,使所述样品座能够沿中轴转动。

本实用新型的有益效果:

本实用新型设计合理,结构紧凑,使用方便,能够通过简单的操作即可快速而准确的将被测样品和标准样品调整至相同的水平高度,极大的提高了效率和样品质量,确保扫描电镜检测的顺利进行。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

其中:1-底座;2-框架;3-滑轨;4-弹簧;5-顶杆;6-螺母;7-手轮;8-样品台;9-连接头;10-立柱;11-测距装置;12-面板;13-底板;14-立杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

如图1所示。

一种扫描电镜用平面样品制样装置,包括底座1和样品台8。该样品台8为平板状,底面上设有连接头9,且该连接头9上设有开口向下的燕尾槽。所述底座1上设有立柱10,且该立柱10的上端设有与所述连接头9相配合的燕尾头,使所述连接头9能够活动的与所述立柱10相契合,进而使所述样品台8安装到所述底座1上。

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