[实用新型]一种清洗机及FOUP清洗机

权利要求书

1.一种清洗机，其特征在于，包括容器(1)，所述容器(1)的顶部内侧通过轴承(2)悬挂设置有置物架(3)，所述置物架(3)的底部设置有磁悬浮定子(4)，所述容器(1)外部设置有与所述磁悬浮定子(4)相匹配的磁悬浮转子(5),所述磁悬浮转子(5)与电机(6)连接；所述容器(1)还连接有清洗进水管(7)、浸泡进水管(8)和排水管(9)，所述清洗进水管(7)伸入所述容器(1)内，且其端部设置有喷嘴(10)。

2.根据权利要求1所述一种清洗机，其特征在于，所述容器(1)内还设置有温度计(11)和加热器(12)。

3.根据权利要求2所述一种清洗机，其特征在于，所述容器(1)材质为PVDF，所述加热器(12)外套设有保护套(121)，所述保护套(121)的材质也为PVDF。

4.根据权利要求1所述一种清洗机，其特征在于，所述清洗进水管(7)管路中设置有流量计(71)。

5.根据权利要求1所述一种清洗机，其特征在于，所述容器(1)侧壁设置有排空传感器(13)、满水位传感器(14)和溢出传感器(15)。

6.根据权利要求1所述一种清洗机，其特征在于，所述容器(1)顶部设置有排气管(16)。

7.根据权利要求1所述一种清洗机，其特征在于，所述容器(1)侧壁设置有密封门(17)。

8.根据权利要求7所述一种清洗机，其特征在于，所述密封门(17)为锁紧气缸密封门。

9.根据权利要求1所述一种清洗机，其特征在于，所述容器(1)的底部外侧设置有防漏盘(18)，所述防漏盘(18)中设置有渗漏传感器。

10.一种FOUP清洗机，其特征在于，包括权利要求1至9任一所述一种清洗机，所述置物架(3)为FOUP支架。