[实用新型]一种硬脆材料的超声作用下微细切削加工系统

权利要求书

1.一种硬脆材料的超声作用下微细切削加工系统，其特征在于，由机械-检测一体化机构及控制机构经连接构成；

所述机械-检测一体化机构，包括有机身主体，所述机身主体由水平设置的机座(6)和垂直设置于机座(6)上表面上的立柱(32)构成；

所述座(6)的上表面上设置有X轴方向进给单元，所述X轴方向进给单元上连接有Y轴方向进给单元，所述Y轴方向进给单元上设置有XY平面微调平单元，所述XY平面微调平单元上设置有超声振动平台(25)，所述超声振动平台(25)上设置有工作台；所述立柱(32)上分别设置有Z轴方向进给单元、主轴单元，且所述Z轴方向进给单元与主轴单元连接；所述X轴方向进给单元、Y轴方向进给单元、XY平面微调平单元及超声振动平台(25)均通过拖链b(55)与控制机构连接，所述Z轴方向进给单元、主轴单元均通过拖链a(29)与控制机构连接。

2.根据权利要求1所述的一种硬脆材料的超声作用下微细切削加工系统，其特征在于，所述控制机构，包括有计算机(1)，所述计算机(1)分别通过导线与X轴方向进给单元、Y轴方向进给单元、Z轴方向进给单元连接；

所述计算机(1)还分别通过导线与一维微纳米移动平台用驱动控制电源(2)、机械封装式压电陶瓷驱动电源(3)、电机驱动电源(4)及超声控制电源(5)连接；

所述一维微纳米移动平台用驱动控制电源(2)通过导线与Z轴方向进给单元连接，所述机械封装式压电陶瓷驱动电源(3)通过导线与XY平面微调平单元连接，所述电机驱动电源(4)分别通过导线与X轴方向进给单元、Y轴方向进给单元、Z轴方向进给单元及主轴单元连接，所述超声控制电源(5)通过导线与超声振动平台(25)连接；

上述用到所有导线分成两部分：一部分导线设置于拖链a(29)中，作为所述控制机构与所述Z轴方向进给单元及主轴单元的连接线，另一部分导线设置于拖链b(55)内，作为所述控制机构与所述X轴方向进给单元、Y轴方向进给单元、XY平面微调平单元及超声振动平台(25)之间的连接线。

3.根据权利要求1或2所述的一种硬脆材料的超声作用下微细切削加工系统，其特征在于，所述X轴方向进给单元，包括有横向进给托架(9)；横向进给托架(9)，包括有矩形横向支撑板，且所述矩形横向支撑板在机座(6)的上表面上沿X轴方向固定设置；在所述矩形横向支撑板的上表面上靠近两相对的长边处各设置一条X轴精密导轨(14)，所述矩形横向支撑板的一长侧面上设置有X轴方向精密光栅尺(11)内的标尺光栅，所述矩形横向支撑板上表面上两相对短边上各垂直设置一个轴承座a(50)，两个所述轴承座a(50)的轴孔之间连接有X轴方向精密滚珠丝杠(15)；

所述X轴方向精密滚珠丝杠(15)的一端通过X轴进给联轴器(8)与X轴伺服电机(7)连接，所述X轴伺服电机(7)与电机驱动电源(4)连接，所述X轴伺服电机(7)固定于马达座a(46)上，所述马达座a(46)固定于机座(6)的上表面，且所述马达座a(46)与一个轴承座a(50)连为一体；所述X轴方向精密滚珠丝杠(15)上套接有X轴方向滚珠丝杠螺母(13)，所述X轴方向滚珠丝杠螺母(13)的螺母座与竖直设置的X轴拖板(12)连为一体，所述X轴拖板(12)的上部与Y轴方向进给单元连接，所述X轴拖板(12)的下部与滑块a(48)连接，且所述滑块a(48)能在两条X轴精密导轨(14)上滑动，所述X轴拖板(12)上设置有X轴光栅读数头支座a(44)，所述X轴方向精密光栅尺(11)内的光栅读数头设置于X轴光栅读数头支座a(44)上，且所述X轴方向精密光栅尺(11)内的光栅读数头与计算机(1)连接；

由所述X轴伺服电机(7)通过X轴进给联轴器(8)把转动传递给X轴方向精密滚珠丝杠(15)一起转动，所述X轴方向精密滚珠丝杠(15)的转动通过X轴方向滚珠丝杠螺母(13)转变为X轴拖板(12)沿两条X轴精密导轨(14)在X轴方向精密直线进给，所述X轴方向精密光栅尺(11)内的标尺光栅和光栅读数头相互配合，用于实现对X轴方向进给量进行检测。