[实用新型]溅射镍靶材生产中的冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及溅射靶材生产技术领域，更具体地说，特别涉及一种溅 射镍靶材生产中的冷却装置。

背景技术

溅射镍靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如尺寸、平整度、纯度、 各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制；较高要求或特殊要求 包含：表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧 化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。磁控溅射镀膜是一 种新型的物理气相镀膜方式，就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的 材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞 向基片淀积成膜。这种被镀的材料就叫溅射靶材。现有的溅射靶材有金属， 合金，陶瓷，硼化物等。

在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，如果不及时进行冷却，容易 造成局部烧焦或呈现晶粒化现象，现有技术中基本是直接将溅射靶材置于冷 却背板上进行冷却，这种冷却效率较低，有时达不到使用的要求。为此，有 必要设计一种溅射镍靶材生产中的冷却装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单的溅射镍靶材生产中的冷却装 置。

为了解决以上提出的问题，本实用新型采用的技术方案为：

溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材、冷却背板和磁钢，多 块镍靶材并列拼接后贴合安装于冷却背板上，所述磁钢安装在冷却背板的背 面，所述冷却背板内设有循环冷却管道，所述冷却背板的端部还设有与循环 冷却管道两端连通的冷却水进口和冷却水出口。

根据本实用新型的一优选实施例：多块所述镍靶材的厚度一致。

根据本实用新型的一优选实施例：位于冷却背板中部的镍靶材的厚度小 于冷却背板两端的靶材的厚度，且中间至两端厚度递增。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型在冷却背板 中设置循环冷却管道，可根据需要向循环冷却管道内通入冷却循环水，极大 的提高了冷却效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将 对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人 员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附 图。

图1为本实用新型实施例一溅射镍靶材生产中冷却装置的结构示意图。

图2为本实用新型的溅射镍靶材生产中冷却装置的中冷却背板的俯视图。

图3为本实用新型实施例二溅射镍靶材生产中冷却装置的结构示意图。

附图标记说明：1、镍靶材，2、冷却背板，3、磁钢，4、循环冷却管道， 5、冷却水进口，6、冷却水出口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新 型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护 范围做出更为清楚明确的界定。

实施例一

参阅图1和图2所示，本实用新型提供一种溅射镍靶材生产中的冷却装 置，包括多块镍靶材1、冷却背板2和磁钢3，多块镍靶材1并列拼接后贴合 安装于冷却背板2上，所述磁钢3安装在冷却背板2的背面，所述冷却背板2 内设有循环冷却管道4，所述冷却背板2的端部还设有与循环冷却管道4两端 连通的冷却水进口5和冷却水出口6。

本实施例中，多块所述镍靶材1的厚度一致。

本实施例通过在冷却背板2中设置循环冷却管道4，在冷却水进口5和冷 却水出口6上连接水管，可根据需要向循环冷却管道4内通入冷却循环水， 极大的提高了冷却效率。

实施例二

参阅图3所示，本实施例的其他结构与实施例一相同，不同之处在于： 位于冷却背板2中部的镍靶材1的厚度小于冷却背板2两端的镍靶材1的厚 度，且中间至两端厚度递增。

通过本实施例的设置，能避免溅射强烈区域的小块靶材过早消耗完毕， 从而延长镍靶材1的使用寿命，提高镍靶材利用率。

上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并 不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下 所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在 本实用新型的保护范围之内。