[发明专利]纳米级自动光学检测系统

权利要求书

1.纳米级自动光学检测系统，包括：

第一光学检测机构(1)，该第一光学检测机构(1)包括：第一光学检测镜头(11)和位于第一光学检测镜头(11)下方的入料轨道(12)，于所述的入料轨道(12)上设置有可沿该入料轨道(12)移动的入料载具(13)；

第二光学检测机构(2)，该第二光学检测机构(2)包括：第二光学检测镜头(21)和位于第二光学检测镜头(21)下方的检测轨道(22)，于所述的检测轨道(22)上设置有可沿检测轨道(22)移动的检测载具(23)；

其特征在于：所述的第一、二光学检测镜头(11、21)采用工业级相机，并且第二光学检测镜头(21)的像素大于第一光学检测镜头(11)；

于所述的第一、二光学检测机构(1、2)旁侧设置有移送机构(3)，所述的移送机构(3)旁设置有收料夹(4)，且第一、二光学检测机构(1、2)、移送机构(3)、收料夹(4)安装在机台(6)上方；

所述的移送机构(3)包括一机械手(31)和移送轨道(32)，所述的机械手(31)可滑动安装在移送轨道(32)上，通过移送机构(3)的机械手(31)将被检测产品在第一光学检测机构(1)、第二光学检测机构(2)和收料夹(4)之间移动；

所述的第一光学检测机构(1)中的入料载具(13)安装在一入料检测平台(14)上，该入料检测平台(14)与入料轨道(12)配合，并通过驱动机构带动沿入料轨道(12)实现在X轴方向上运行；于入料检测平台(14)侧边还设置有入料校准压板(17)，该入料校准压板(17)通过入料校准驱动机构(18)驱动实现在Y/Z轴上的运行；

所述的第二光学检测机构(2)中的检测载具(23)安装在一检测平台(24)上，所述的检测轨道(22)包括：横向检测轨道(221)和纵向检测轨道(222)，其中横向检测轨道(221)与检测平台(24)配合，并且横向检测轨道(221)的底座(220)与纵向检测轨道(222)配合，该横、纵向检测轨道(221、222)在驱动机构带动下实现检测平台(24)在X/Y轴方向上的运行；于检测平台(24)侧边还设置有校准压板(27)，该校准压板(27)通过校准驱动机构(28)驱动实现在Y/Z轴上的运行。

2.根据权利要求1所述的纳米级自动光学检测系统，其特征在于：所述的第一光学检测镜头(11)安装在第一镜头座(110)上，该第一镜头座(110)通过第一镜头驱动机构(16)设置在机台(6)上的第一检测基座(15)上。

3.根据权利要求1所述的纳米级自动光学检测系统，其特征在于：所述的第二光学检测镜头(21)安装在第二镜头座(210)上，该第二镜头座(210)通过第二镜头驱动机构(26)设置在机台(6)上的第二检测基座(25)上。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的纳米级自动光学检测系统，其特征在于：所述移送机构(3)的机械手(31)包括：夹持部(310)、纵向连接座(315)、旋转连接座(317)和横向连接座(319)，所述的夹持部(310)通过一竖直气缸(316)与纵向连接座(315)连接，所述的纵向连接座(315)通过纵向气缸与旋转连接座(317)连接，所述的旋转连接座(317)通过旋转气缸与横向连接座(319)连接，该横向连接座(319)安装在与之配合的移送轨道(32)上。

5.根据权利要求4所述的纳米级自动光学检测系统，其特征在于：所述的夹持部(310)包括：夹持座(314)、固定在夹持座(314)上的夹持气缸(313)、与夹持气缸(313)连动的上、下夹持部(311、312)，夹持座(314)与所述竖直气缸(316)的活塞杆连动，实现夹持部(310)在Z轴竖直方向上的移动；所述的纵向连接座(315)与纵向气缸的活塞杆连动，实现夹持部(310)在Y轴纵向方向上的移动；所述的旋转连接座(317)与旋转气缸连动，实现夹持部(310)在水平方向上的转动；所述的横向连接座(319)与移送轨道(32)配合，并通过丝杠传动机构(3190)驱动，实现夹持部(310)沿移送轨道(32)在X轴横向方向上的移动。