[发明专利]板

说明书

一种板包括其中的第一导磁板和第二导磁板。第一导磁板具有第一导磁方向。第二导磁板与第一导磁板重叠。第二导磁板具有第二导磁方向。第一导磁方向和第二导磁方向交叉。

技术领域

本发明的实施例涉及板。

背景技术

本发明总体上涉及板。

在不同的制造工业中，板实际用作分隔壁以将不同的机器或设备彼此隔离。这样，一个机器或设备的操作将不影响其他机械或设备的操作。因此，可以保持彼此隔离的机器或设备的效率和性能。

发明内容

本发明的实施例提供了一种板，包括：第一导磁板，具有第一导磁方向；以及第二导磁板，与所述第一导磁板重叠，所述第二导磁板具有第二导磁方向，其中，所述第一导磁方向和所述第二导磁方向交叉。

本发明的另一实施例提供了一种半导体制造工厂(FAB)，包括：外壳结构；至少一个磁敏感工具，设置在所述外壳结构中；以及至少一个磁屏蔽板，至少部分地设置在所述外壳结构中的所述磁敏感工具周围。

本发明的又一实施例提供了一种制造设施，包括：至少一个磁敏感工具，存在于空间中；以及至少一个板，设置在所述空间的至少一侧上，所述板包括在其中的第一导磁板和第二导磁板，所述第一导磁板具有第一导磁方向，所述第二导磁板具有第二导磁方向，以及所述第一导磁方向不同于所述第二导磁方向。

附图说明

当结合附图进行阅读时，根据下面详细的描述可以更好地理解本发明的实施例。应该强调的是，根据工业中的标准实践，对各种部件没有按比例绘制并且仅仅用于说明的目的。实际上，为了清楚的讨论，各种部件的尺寸可以被任意增大或缩小。

图1是根据本发明一些实施例的板的示意性分解图。

图2是根据本发明的一些实施例的半导体制造工厂(FAB)中的制造设施的示意图。

图3是图1的板的另一应用的示意图。

图4至图7是根据本发明的一些其它实施例的板的示意性分解图。

图8至图10是根据本发明的一些其它实施例的板的截面图。

图11是一系列测试下的分隔壁和电子束工具的示意图。

具体实施方式

以下公开内容提供了许多用于实现所提供主题的不同特征的不同实施例或实例。下面描述了组件和布置的具体实例以简化本发明。当然，这些仅仅是实例，而不旨在限制本发明。例如，在以下描述中，在第二部件上方或者上形成第一部件可以包括第一部件和第二部件形成为直接接触的实施例，并且也可以包括在第一部件和第二部件之间可以形成额外的部件，从而使得第一部件和第二部件可以不直接接触的实施例。此外，本发明可在各个实例中重复参考标号和/或字母。该重复是为了简单和清楚的目的，并且其本身不指示所讨论的各个实施例和/或配置之间的关系。

本文中所使用的术语是仅用于描述特定实施例的目的，而不是为了限制本发明。如本文中所使用的，除非上下文清楚地表明，否则单数“一”，“一个”和“该”旨在也包括复数形式。应当进一步理解，当在本发明中使用术语“包括”和/或“包含”，或“包括”和/或“包括”或“具有”和/或“有”时，指定阐述的部件、区域、整数、步骤、操作、元件、和/或组件的存在，但不排除附加的一个或多个其他部件、区域、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组的存在。

而且，为便于描述，在此可以使用诸如“在…之下”、“在…下方”、“下部”、“在…之上”、“上部”等的空间相对术语，以便于描述如图所示的一个元件或部件与另一个(或另一些)元件或部件的关系。除了图中所示的方位外，空间相对术语旨在包括器件在使用或操作中的不同方位。装置可以以其他方式定向(旋转90度或在其他方位上)，而在此使用的空间相对描述符可以同样地作相应的解释。