[发明专利]基于MEMS工艺的硅基TEM波天线阵列及其制作方法有效
| 申请号： | 201611068533.9 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN106374197B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 常乐;张志军;王绍东;高艳红 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所;清华大学 |
| 主分类号： | H01Q1/36 | 分类号： | H01Q1/36;H01Q1/38;H01Q21/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王占华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 工艺 tem 天线 阵列 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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