[发明专利]正型光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201611043624.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106933034B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 增田靖男;黑岩靖司 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/022;G03F7/004;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 正型光致抗蚀剂 组合 | ||
1.一种正型光致抗蚀剂组合物，其包含(A)线型酚醛树脂和(B)感光剂，
所述(A)线型酚醛树脂包含含有来自苯酚的单元且可溶于pH12的碱性水溶液的(A1)线型酚醛树脂和含有来自烃基苯酚的单元、并且在pH13的碱性水溶液中不溶、但在超过pH13的碱性水溶液中具有溶解性的(A2)线型酚醛树脂，
所述(A1)线型酚醛树脂的质量相对于所述(A)线型酚醛树脂的质量的比率超过50质量％，
所述(A2)线型酚醛树脂的质量相对于所述(A)线型酚醛树脂的质量的比率为1质量％～45质量％，
所述(B)感光剂为具有萘醌二叠氮基的化合物，其不为所述(A)线型酚醛树脂。
2.根据权利要求1所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述(A1)线型酚醛树脂仅包含来自苯酚的单元。
3.根据权利要求1或2所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，在所述(A)线型酚醛树脂所具有的酚羟基的一部分中，所述酚羟基中的氢原子被包含萘醌二叠氮基的基团取代。
4.一种正型光致抗蚀剂组合物，其为包含具有萘醌二叠氮基的(A’)线型酚醛树脂的正型光致抗蚀剂组合物，
所述(A’)线型酚醛树脂是在(A)线型酚醛树脂所具有的酚羟基的一部分中，所述酚羟基中的氢原子被包含萘醌二叠氮基的基团取代的线型酚醛树脂，
所述(A)线型酚醛树脂包含含有来自苯酚的单元且可溶于pH12的碱性水溶液的(A1)线型酚醛树脂，
所述(A1)线型酚醛树脂的质量相对于所述(A)线型酚醛树脂的质量的比率超过50质量％，
所述(A)线型酚醛树脂还包含(A2)线型酚醛树脂，该(A2)线型酚醛树脂含有来自烃基苯酚的单元，并且在pH13的碱性水溶液中不溶、但在超过pH13的碱性水溶液具有溶解性。
5.根据权利要求4所述的正型光致抗蚀剂组合物，其中，所述(A1)线型酚醛树脂仅包含来自苯酚的单元。
6.根据权利要求1或4所述的正型光致抗蚀剂组合物，其包含(S)溶剂。
7.根据权利要求1或4所述的正型光致抗蚀剂组合物，其还包含在大气压下的沸点为180℃以上的水溶性的(C)高沸点有机化合物。
8.一种带感光膜的基板，其在基板上具备包含权利要求1～7中任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物的感光膜。
9.一种图案化的抗蚀剂膜的形成方法，其包括：
包含权利要求1～7中任一项所述的正型光致抗蚀剂组合物的感光膜的位置选择性的曝光；以及
所述被曝光的感光膜的显影。
10.根据权利要求9所述的图案化的抗蚀剂膜的形成方法，其中，所述显影使用pH12以下的碱性水溶液来进行。
11.根据权利要求10所述的图案化的抗蚀剂膜的形成方法，其中，所述碱性水溶液为浓度5质量％以下的碳酸钠水溶液。
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