[发明专利]一种用于金刚线切割硅片过程中弓线检测的装置在审
| 申请号: | 201611038198.8 | 申请日: | 2016-11-23 |
| 公开(公告)号: | CN106989665A | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
| 发明(设计)人: | 瞿述良;孙守振;樊欢欢;秦香云;赵向阳 | 申请(专利权)人: | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 224400 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 金刚 切割 硅片 过程 中弓线 检测 装置 | ||
1.一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置,其特征在于,该检测装置包括激光发射装置、激光感应装置和报警系统。
2.如权利要求1所述的一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置,其特征在于,所述激光发射装置,包括一激光发射壳体、一激光发射器、一控制模块、一电源模块。
3.如权利要求2所述的一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置,其特征在于,所述激光发射壳体采用一棒体,所述棒体的顶端设有投射口,所述激光发射器发出的激光束通过投射口射出。
4.如权利要求1所述的一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置,其特征在于,所述激光接收装置,包括红外光敏元件、微型处理器系统。
5.如权利要求4所述的一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置,其特征在于,所述红外光敏元件包括至少两个,至少两个所述红外光敏元件分别连接所述微型处理器系统的信号输入端,至少两个所述红外光敏元件作为一组探头;所述微型处理器系统的信号输出端连接一控制接口,所述微型处理器系统通过所述控制接口信号连接载体的受控端。
6.如权利要求5所述的一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置,其特征在于,所述探头用于设置在所述载体上,所述探头中的至少两个红外光敏元件接收光信号,并将至少两个感应信息传送给所述微型处理器系统,所述微型处理器系统处理至少两个感应信息,确定接收区域,并产生相对应的控制信号给所述载体。
7.如权利要求1所述的一种用于金刚线切割硅片过程中弓弦检测的装置在金刚线切割硅片过程中的应用。
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