[发明专利]一种685nmAlGaInP红光半导体激光器在审

专利信息
申请号: 201611035239.8 申请日: 2016-11-22
公开(公告)号: CN108092132A 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 朱振;张新;徐现刚 申请(专利权)人: 山东华光光电子股份有限公司
主分类号: H01S5/343 分类号: H01S5/343
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨树云
地址: 250101 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 红光半导体激光器 半导体激光器 量子阱层 上缓冲层 下缓冲层 组分渐变 渐变 组分渐变缓冲层 欧姆接触层 晶格匹配 上波导层 上限制层 微分效率 下波导层 下限制层 应变条件 波导层 低应变 限制层 应变量 阱结构 衬底 激光 输出
【权利要求书】:

1.一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,从下至上依次包括衬底、下缓冲层、下限制层、下波导层、量子阱层、上波导层、上限制层、上缓冲层和欧姆接触层;其特征在于,下缓冲层为AlxIn1-xP组分渐变层,x由0.5线性渐变至0.4;上缓冲层为AlyIn1-yP组分渐变层,y由0.4线性渐变至0.5。

2.根据权利要求1所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述下波导层及上波导层均为(AlzGa1-z)0.4In0.6P,z的取值为0.4-0.6;所述下限制层及上限制层均为Al0.4In0.6P。

3.根据权利要求1所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述下缓冲层AlxIn1-xP的厚度为2-3μm。

4.根据权利要求1所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述上缓冲层AlyIn1-yP的厚度为0.3-0.4μm。

5.根据权利要求2所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述下限制层及上限制层Al0.4In0.6P的厚度为2-4μm。

6.根据权利要求1所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述量子阱层为GauIn1-uP,u取值为0.35-0.40,厚度10-20nm,激射波长为680-690nm。

7.根据权利要求1所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述欧姆接触层为P型GaAs。

8.根据权利要求1所述的一种685nm AlGaInP红光半导体激光器,其特征在于,所述衬底为N型GaAs。

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