[发明专利]一种可实现单晶在线退火的生长设备及其方法有效
| 申请号： | 201610950624.9 | 申请日： | 2016-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN106400102B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 杨翠柏;陈丙振;方聪 | 申请（专利权）人： | 珠海鼎泰芯源晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 陈英俊;许向彤 |
| 地址： | 519085 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 在线 退火 生长 设备 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海鼎泰芯源晶体有限公司，未经珠海鼎泰芯源晶体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610950624.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
