[发明专利]氮化镓基板的生成方法在审
| 申请号： | 201610819653.1 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN107053498A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 平田和也 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 镓基板 生成 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化镓基板的生成方法，将氮化镓锭生成多个氮化镓基板，该氮化镓锭具有第1面和处于该第1面的相反侧的第2面，其特征在于，该氮化镓基板的生成方法具有如下的工序：
界面形成工序，从该第1面将对于氮化镓具有透过性的波长的激光光线的聚光点定位在氮化镓锭的内部而进行照射，形成将氮化镓破坏而使镓和氮析出的界面；
保持部件粘接工序，将第1保持部件粘接在氮化镓锭的该第1面上，并且将第2保持部件粘接在该第2面上；以及
氮化镓基板生成工序，将氮化镓锭加热到使镓发生熔融的温度，并且使该第1保持部件与该第2保持部件向互相远离的方向移动，由此从该界面将氮化镓锭分离而生成氮化镓基板。
2.根据权利要求1所述的氮化镓基板的生成方法，其中，
在实施上述界面形成工序之前，将该保持部件粘接工序中的该第2保持部件粘接在该第2面上。
3.根据权利要求1或2所述的氮化镓基板的生成方法，其中，
在该保持部件粘接工序中，针对该氮化镓锭，使用蜡将该第1保持部件粘接在该第1面上并且将该第2保持部件粘接在该第2面上，其中，所述蜡在比镓发生熔融的温度高的温度下发生熔融。
4.根据权利要求1所述的氮化镓基板的生成方法，其中，
该氮化镓基板的生成方法实施如下的磨削工序：对析出于该界面并形成在通过氮化镓基板形成工序而分离的氮化镓基板的分离面上的镓面进行磨削而去除。
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